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Si/SiGe异质结构的硅盖层中应变对Raman谱特征的影响
被引量：
3
1
作者
肖清华
屠海令
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第5期719-722,共4页
应变Si/SiGe异质结构通过大剂量Ge离子注入并结合高温快速热退火制备而成。325nm波长的紫外激光被用于调查应变Si盖层的Raman谱特征。实验发现,硅盖层中的张应变导致硅的520cm-1的一级拉曼散射峰向低频方向偏移,峰的偏移程度反映硅盖层...
应变Si/SiGe异质结构通过大剂量Ge离子注入并结合高温快速热退火制备而成。325nm波长的紫外激光被用于调查应变Si盖层的Raman谱特征。实验发现,硅盖层中的张应变导致硅的520cm-1的一级拉曼散射峰向低频方向偏移,峰的偏移程度反映硅盖层中横向张应力的大小约为12.5×108N·m-2。硅盖层中的张应变并未导致1555和2330cm-1的次级拉曼散射峰的变化。
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关键词
Si
SICE
异质结构
应变
RAMAN谱
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职称材料
无固体窗口拉曼池的受激拉曼散射实验研究
被引量：
1
2
作者
楼祺洪
徐剑秋
+1 位作者
魏运荣
董景星
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第4期400-403,共4页
在高功率激光作用下 ,拉曼池窗口及其膜层很容易被激光损坏。设计了一种新型的无固体窗口的拉曼池 ,利用安装在拉曼池两端的两个快门来取代通常的固体窗口 ,拉曼池内充有与环境气体密度接近的混合气体 ,在快门打开后的一定时间内 ,气体...
在高功率激光作用下 ,拉曼池窗口及其膜层很容易被激光损坏。设计了一种新型的无固体窗口的拉曼池 ,利用安装在拉曼池两端的两个快门来取代通常的固体窗口 ,拉曼池内充有与环境气体密度接近的混合气体 ,在快门打开后的一定时间内 ,气体扩散不占主导地位 ,从而实现拉曼转换。研究了窗口气体流动对受激拉曼散射的影响。
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关键词
拉曼池
气体窗口
准分子激光
受激拉曼散射
抽运光分子激光器
原文传递
题名
Si/SiGe异质结构的硅盖层中应变对Raman谱特征的影响
被引量：
3
1
作者
肖清华
屠海令
机构
北京有色金属研究总院
出处
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第5期719-722,共4页
基金
北京有色金属研究总院创新基金(C0236687)
文摘
应变Si/SiGe异质结构通过大剂量Ge离子注入并结合高温快速热退火制备而成。325nm波长的紫外激光被用于调查应变Si盖层的Raman谱特征。实验发现,硅盖层中的张应变导致硅的520cm-1的一级拉曼散射峰向低频方向偏移,峰的偏移程度反映硅盖层中横向张应力的大小约为12.5×108N·m-2。硅盖层中的张应变并未导致1555和2330cm-1的次级拉曼散射峰的变化。
关键词
Si
SICE
异质结构
应变
RAMAN谱
Keywords
Si
SiGe
heterostructure
strain
Raman spectra
分类号
O471 [理学—半导体物理]
O473.3 [理学—半导体物理]
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职称材料
题名
无固体窗口拉曼池的受激拉曼散射实验研究
被引量：
1
2
作者
楼祺洪
徐剑秋
魏运荣
董景星
机构
中国科学院上海光学精密机械研究所
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第4期400-403,共4页
基金
国家自然科学基金! (6 97880 0 5 )资助项目
文摘
在高功率激光作用下 ,拉曼池窗口及其膜层很容易被激光损坏。设计了一种新型的无固体窗口的拉曼池 ,利用安装在拉曼池两端的两个快门来取代通常的固体窗口 ,拉曼池内充有与环境气体密度接近的混合气体 ,在快门打开后的一定时间内 ,气体扩散不占主导地位 ,从而实现拉曼转换。研究了窗口气体流动对受激拉曼散射的影响。
关键词
拉曼池
气体窗口
准分子激光
受激拉曼散射
抽运光分子激光器
Keywords
Raman cell
gas windows
excimer laser
分类号
O473.3 [理学—半导体物理]
TN248.22 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Si/SiGe异质结构的硅盖层中应变对Raman谱特征的影响
肖清华
屠海令
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
无固体窗口拉曼池的受激拉曼散射实验研究
楼祺洪
徐剑秋
魏运荣
董景星
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
1
原文传递
已选择
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参考文献
引证文献
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