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XPS分析过程中射线对样品损伤探究
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作者 闫曙光 刘岁林 +2 位作者 刘睿 宋红杰 吕弋 《实验科学与技术》 2025年第1期82-89,共8页
X射线光电子能谱(XPS)分析过程中,X射线会引起部分样品表面发生物理化学变化,导致获得的XPS数据不能真实反馈样品表面物理化学状态。明确X射线对样品表面物理化学性质的影响和规律,是准确获取XPS数据的关键。实验选取多种具有代表性的样... X射线光电子能谱(XPS)分析过程中,X射线会引起部分样品表面发生物理化学变化,导致获得的XPS数据不能真实反馈样品表面物理化学状态。明确X射线对样品表面物理化学性质的影响和规律,是准确获取XPS数据的关键。实验选取多种具有代表性的样品,获得了连续X射线辐照下XPS分析结果,探究了X射线对样品表面物理化学状态的影响。结果表明,对于部分特殊样品X射线会产生表面物理灼伤、热分解、破坏不稳定化学键,甚至引起还原反应。该文阐述了XPS分析过程中X射线对样品表面物理化学状态影响的规律和降低X射线对分析结果影响的方法,为高效、准确获得XPS数据提供了理论支撑。 展开更多
关键词 X射线光电子能谱 X射线辐照 结合能 物理损伤 化学损伤
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