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双波长全光纤激光干涉速度复测技术
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作者 王为 刘盛刚 +4 位作者 谷伟 陶天炯 马鹤立 王翔 翁继东 《高压物理学报》 北大核心 2026年第3期31-37,共7页
针对冲击爆轰实验中对速度测量系统的高可靠性要求,基于光纤波分复用/解复用技术,提出了一种双波长全光纤激光干涉速度复测方法及技术。设计并搭建了一套速度复测原理验证系统,采用1530.3和1550.0 nm 2个波长,在气体炮上开展了低速、高... 针对冲击爆轰实验中对速度测量系统的高可靠性要求,基于光纤波分复用/解复用技术,提出了一种双波长全光纤激光干涉速度复测方法及技术。设计并搭建了一套速度复测原理验证系统,采用1530.3和1550.0 nm 2个波长,在气体炮上开展了低速、高速2种典型状态下的动态验证实验。实验结果显示,利用单一光纤探头实现了样品自由面运动速度的复测,2个波长系统得到的速度测量结果具有较好的一致性,速度相对偏差在±1.5%以内。 展开更多
关键词 激光干涉 多普勒测速 波分复用 速度复测
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光纤马赫-曾德尔干涉仪的温度变化测量
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作者 高宇航 吴宇豪 +2 位作者 马春光 王海林 王雪珍 《物理实验》 2026年第1期17-24,共8页
采用光纤通信常用器件搭建MZI干涉仪温度测量系统,引入涂覆层与套管的放大系数B,系统具有高灵敏度,且可通过光纤长度调节.实验表明:工作在40~60℃时,示波器脉冲数和频率与温度变化量成正比(6.68℃-1,6.63Hz/℃);低温、高温区段(0~20℃,8... 采用光纤通信常用器件搭建MZI干涉仪温度测量系统,引入涂覆层与套管的放大系数B,系统具有高灵敏度,且可通过光纤长度调节.实验表明:工作在40~60℃时,示波器脉冲数和频率与温度变化量成正比(6.68℃-1,6.63Hz/℃);低温、高温区段(0~20℃,80~100℃)仍保持良好的线性关系;采用聚酰亚胺等耐高温涂层可改善高温区B值波动.本研究内容为温度变化测量提供了简易方案,可丰富光纤传感的教学内容. 展开更多
关键词 光纤马赫-曾德尔干涉仪 温度变化 放大系数
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基于MATLAB的牛顿环图样仿真设计
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作者 管青汶 陈贵宾 边心田 《应用物理》 2026年第1期1-12,共12页
本文针对传统牛顿环实验中透镜类型单一,难以满足学生快速观察不同透镜干涉图样的需求,提出一种结合多种透镜的干涉图样仿真系统。基于等厚干涉理论,采用MATLAB GUI构建交互式仿真平台,通过调节入射光波长、透镜结构(例如曲率半径、圆... 本文针对传统牛顿环实验中透镜类型单一,难以满足学生快速观察不同透镜干涉图样的需求,提出一种结合多种透镜的干涉图样仿真系统。基于等厚干涉理论,采用MATLAB GUI构建交互式仿真平台,通过调节入射光波长、透镜结构(例如曲率半径、圆锥角、非球面系数)等多种参数,准确生成不同类型透镜的交互式仿真干涉图样,为研究者学习和教学研究提供了便利。 展开更多
关键词 牛顿环 类牛顿环 等厚干涉 MATLAB仿真
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全息多波干涉的二维聚合物分散液晶光栅的仿真与制备
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作者 许海 蔡佳 +2 位作者 鲁思宇 徐梦杰 郑继红 《物理学报》 北大核心 2026年第3期195-204,共10页
聚合物分散液晶光栅具备成本低廉、可大面积制备和快速响应等优势,在全息波导显示及光互联领域广泛用于分束与耦合器件等.目前基于聚合物分散液晶材料体系制备的分光器件,多数研究成果集中于构建产生2×2衍射阵列的二维光栅,在需要... 聚合物分散液晶光栅具备成本低廉、可大面积制备和快速响应等优势,在全息波导显示及光互联领域广泛用于分束与耦合器件等.目前基于聚合物分散液晶材料体系制备的分光器件,多数研究成果集中于构建产生2×2衍射阵列的二维光栅,在需要多通道、多级次光场调控的场景中适用性受限.本文通过全息干涉场场强分布理论推导,在有限元仿真软件COMSOL Multiphysic中构建对应折射率分布的体全息透射式光栅模型.结合仿真优化实验中参考光/物光曝光光强比和光栅层厚度等制备参数.在三波干涉曝光法成功制备具有对称衍射特性一维光栅基础之上,使用五波干涉曝光法制备出符合设计指标的聚合物分散液晶二维光栅:实现在532 nm波段正入射条件下,产生3×3二维阵列衍射, 1级衍射角为18.4°,单1级衍射光分光能量占比均在10%以上.本文实现了多级次、高效的衍射分光目的. 展开更多
关键词 聚合物分散液晶 多波干涉 二维光栅 分光器件
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LED光源迈克尔逊干涉仪测量液体折射率
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作者 王梦琪 王楠 +2 位作者 杨玉婷 尚亮 马丽丽 《曲阜师范大学学报(自然科学版)》 2026年第1期87-91,共5页
提出了一种基于迈克尔逊干涉仪的LED光源干涉精确测量透明液体折射率的方法.采用绿色LED光源,阐述了LED绿光干涉测量液体折射率的原理.如果参考光路和测量光路光程相等,会观察到干涉条纹,干涉条纹中心即“零光程差”的标杆,由比色皿上... 提出了一种基于迈克尔逊干涉仪的LED光源干涉精确测量透明液体折射率的方法.采用绿色LED光源,阐述了LED绿光干涉测量液体折射率的原理.如果参考光路和测量光路光程相等,会观察到干涉条纹,干涉条纹中心即“零光程差”的标杆,由比色皿上下两部分分别出现干涉条纹时的读数差,即动镜发生的位移,计算溶液折射率.测量结果表明,测量值与用阿贝折射计的测量值相比误差小于0.5%.利用迈克尔逊干涉仪测量液体折射率的实验,对培养大学生动手能力和创新思维有重要意义. 展开更多
关键词 迈克尔逊干涉仪 干涉条纹 零光程差 折射率
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Second-order correlated interference with multi-wavelength thermal-light beams
6
作者 De-Sheng Wang Yi-Ning Zhao +5 位作者 Lingxin Kong Su-Heng Zhang Chong Wang Cheng Ren Yuehua Su De-Zhong Cao 《Chinese Physics B》 2026年第2期374-382,共9页
A method for correlating thermal light over a wide spectral range is proposed.A multi-wavelength pseudothermal source,prepared by projecting laser beams of multiple wavelengths(650 nm,635 nm,532 nm,and 473 nm)onto a m... A method for correlating thermal light over a wide spectral range is proposed.A multi-wavelength pseudothermal source,prepared by projecting laser beams of multiple wavelengths(650 nm,635 nm,532 nm,and 473 nm)onto a moving thin ground glass plate,is employed in a double-slit interference experiment.The ground glass plate induces random phase differences between light beams of different wavelengths passing through it.This initial random phase difference significantly influences the high-order intensity correlation functions of multi-wavelength thermal beams.Experimentally,second-order correlated interference patterns,including subwavelength interference,of pseudothermal beams with different wavelengths are observed in the intensity correlation measurements.This method facilitates applications of correlated thermal photons in quantum information processing and quantum imaging. 展开更多
关键词 correlated interference multi-wavelength thermal light second-order correlation function
原文传递
多功能马赫-曾德尔分振幅干涉仪设计与应用
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作者 秦哲 郭迪智 +5 位作者 谭智元 李梦欣 梁舒畅 谭宇豪 余化涛 胡雪兰 《激光杂志》 北大核心 2025年第7期216-224,共9页
为了解决传统迈克尔逊分振幅干涉仪在实验多样性和灵活性方面的限制,基于马赫-曾德尔分振幅干涉技术自主设计了一款多功能干涉仪。该仪器突破传统装置在可拓展性与光路空间上的局限,通过自主设计的实验方案,实现了相干条件验证、干涉条... 为了解决传统迈克尔逊分振幅干涉仪在实验多样性和灵活性方面的限制,基于马赫-曾德尔分振幅干涉技术自主设计了一款多功能干涉仪。该仪器突破传统装置在可拓展性与光路空间上的局限,通过自主设计的实验方案,实现了相干条件验证、干涉条纹对比度研究两项定性实验,以及薄膜折射率测定和空气折射率测定两项定量实验。实验结果表明,该仪器测量精度高,测得的薄膜折射率为1.509,相对误差仅为0.4%;测得空气折射率的平均值为1.000 16,相对误差仅为0.01%。与传统迈克尔逊干涉仪相比,该仪器具有集成度高、重量轻、成本低和操作简便等优点,曾获全国大学生物理实验竞赛国家级三等奖,适用于大学物理实验教学和薄膜光学研究等,具有广阔的应用前景和推广价值。 展开更多
关键词 马赫-曾德尔干涉仪 分振幅干涉 相干条件 薄膜折射率 空气折射率
原文传递
数智光场调控专题导读
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作者 程鑫彬 李仲阳 蒲明博 《光电工程》 北大核心 2025年第11期1-4,共4页
数智光场调控技术是在传统光场调控硬件中引入人工智能算法与数字建模所形成的新范式,因其在高维参数搜索、复杂光场重建、智能逆向设计与自适应优化中的独特优势,正成为微纳光子学领域的革命性驱动力。随着人工智能技术的迅速演进,数... 数智光场调控技术是在传统光场调控硬件中引入人工智能算法与数字建模所形成的新范式,因其在高维参数搜索、复杂光场重建、智能逆向设计与自适应优化中的独特优势,正成为微纳光子学领域的革命性驱动力。随着人工智能技术的迅速演进,数智光场调控在高效率、多功能与智能化方面展现出前所未有的潜力。基于这一背景,《光电工程》于2025年组织了“数智光场调控”专题,共收录12篇来稿,包括8篇综述和4篇原创论文,旨在呈现近年来该领域的重要研究进展与成果,帮助读者深入理解数智光场调控的研究现状、发展趋势及应用前景,并为相关科研人员提供有益的参考与启发。 展开更多
关键词 数智光场 光场调控 专题
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多元二维微结构的制作方法及对其进行衍射测量与验证的系统
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作者 刘会玲 赵云芳 +3 位作者 韩星星 牛海波 石鲸 赵蓓 《物理与工程》 2025年第4期206-220,共15页
在自然界中,多元多维结构更为普遍,这些不同类型的多元微结构,使材料表现出不同的物性,其衍射图样也表现出显著的差异,但这些微结构不容易采集,衍射图不容易得到。本文利用CAD精确设计且利用精度0.01mm的精密激光打孔机制作了4类共12种... 在自然界中,多元多维结构更为普遍,这些不同类型的多元微结构,使材料表现出不同的物性,其衍射图样也表现出显著的差异,但这些微结构不容易采集,衍射图不容易得到。本文利用CAD精确设计且利用精度0.01mm的精密激光打孔机制作了4类共12种二维周期和无序微孔结构,分别为:大小不同的圆孔二维周期结构3种以及形状不同的二维周期结构3种、二维六孔结构(苯环结构)3种、二维无序分布结构3种。本文还推出了12种结构衍射光强表达式,为软件编程提供了理论依据。然后通过实验测量和Matlab编程仿真两种方式得到衍射图案,验证并对比其衍射图,从而研究其夫琅禾费衍射特点,并测量结构参数。本文提供的多元二维微结构的制作方法及对其进行衍射测量与验证的系统,可在普通环境下进行精密的衍射测量与验证,为研究各种微结构、晶体结构及非晶体结构提供低成本、低实验环境要求的研究方法。 展开更多
关键词 夫琅禾费衍射 傅里叶变换 多元二维微结构 MATLAB
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三维空间中的杨氏双缝干涉研究
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作者 张丽琴 管志刚 +1 位作者 徐士涛 李莲洁 《河南工程学院学报(自然科学版)》 2025年第4期67-70,共4页
传统的杨氏双缝干涉实验主要在二维平面上进行,而光传播实际在三维空间中进行,故通过理论分析和数值模拟,探讨三维空间中的光传播和干涉,揭示其物理机制,并分析纳米结构和非线性效应对干涉图样的影响。结果表明,纳米结构和非线性效应显... 传统的杨氏双缝干涉实验主要在二维平面上进行,而光传播实际在三维空间中进行,故通过理论分析和数值模拟,探讨三维空间中的光传播和干涉,揭示其物理机制,并分析纳米结构和非线性效应对干涉图样的影响。结果表明,纳米结构和非线性效应显著改变了干涉条纹的形态、对比度和间距。 展开更多
关键词 杨氏双缝干涉 光学相干性 非线性光学 纳米结构 二次谐波
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光束相干性调控与测量实验设计
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作者 王孝艳 吴彤 +2 位作者 罗玉珍 罗松杰 蒲继雄 《大学物理实验》 2025年第1期8-11,共4页
相干性是描述光场性质的一个重要参量,光场的相干性对于干涉测量、全息术和激光显示与成像等光学应用具有重要意义。目前的光学实验中基本没有涉及测量光场相干性的实验。设计了一种光束相干性调控与测量的实验装置,以高相干性的激光为... 相干性是描述光场性质的一个重要参量,光场的相干性对于干涉测量、全息术和激光显示与成像等光学应用具有重要意义。目前的光学实验中基本没有涉及测量光场相干性的实验。设计了一种光束相干性调控与测量的实验装置,以高相干性的激光为光源,利用转动的随机相位板降低其相干性,并利用干涉测量光束的相干性。激光器输出的激光经过一个扩束系统对光斑进行放大,在扩束系统的共焦点附近放入旋转的随机相位板,通过控制随机相位板与共焦点之间的距离,可以有效改变光束的相干性。利用干涉实验测量条纹的对比度,定量衡量光束的相干特性。实验设计装置简单,调节方便,易于实现。通过该实验有助于更深入地理解光束的相干性描述及其测量。 展开更多
关键词 相干性调控 相干性测量 干涉 条纹对比度
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杨氏双缝干涉实验的若干教学探讨
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作者 张典承 李长伟 《科技风》 2026年第6期38-40,共3页
本文讨论了杨氏双缝干涉实验课程在教学中值得注意的几个方面,包括杨氏双缝干涉实验的课堂导入、该实验进行的时代背景、计算机软件的辅助教学,以及该实验内容的丰富和拓展。对以上环节做深入剖析后,本文针对性地给出了相应的完善策略,... 本文讨论了杨氏双缝干涉实验课程在教学中值得注意的几个方面,包括杨氏双缝干涉实验的课堂导入、该实验进行的时代背景、计算机软件的辅助教学,以及该实验内容的丰富和拓展。对以上环节做深入剖析后,本文针对性地给出了相应的完善策略,包括以水波干涉引入本堂课程,强调托马斯·杨本人的受教育经历,运用MATLAB的GUI实行仿真模拟,以及介绍该实验的量子理论解释与最新的相关科学研究进展。这些措施能够帮助教师更好地激发学生的学习兴趣与科学思维,提高该堂课程的教学效果。 展开更多
关键词 杨氏双缝干涉 大学物理 MATLAB 仿真教学 科学思维
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基于MATLAB的光的衍射虚拟仿真实验平台设计与实现
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作者 刘琛 《中国教育技术装备》 2026年第2期107-112,共6页
为增强学生的创新思维和实践能力,将计算机仿真技术应用于物理实验教学。以大学物理光的衍射教学单元为例,使用MATLAB软件设计开发具有图形化界面的虚拟仿真实验平台。实验平台由基础性实验、探究性实验和综合性实验组成,实验之间联系紧... 为增强学生的创新思维和实践能力,将计算机仿真技术应用于物理实验教学。以大学物理光的衍射教学单元为例,使用MATLAB软件设计开发具有图形化界面的虚拟仿真实验平台。实验平台由基础性实验、探究性实验和综合性实验组成,实验之间联系紧密,难度层层递进,可以满足多维度的教学需求,有效拓展实验教学的深度与广度。学生在完成实验过程中能够更好地理解知识,激发学习兴趣,增强团队意识和创新精神。 展开更多
关键词 大学物理 实验教学 光的衍射 虚拟仿真实验平台
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基于Java和Matlab的在线光学衍射演示系统设计与实现
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作者 郭中华 侯培琦 杨梅花 《甘肃高师学报》 2025年第1期70-74,共5页
文章开发了一个集成Java多技术栈和Matlab的光学衍射仿真演示系统.该系统基于Spring Boot构建微服务架构,确保了系统的可伸缩性和灵活性.通过Ajax技术实现前后端数据交互,采用Bootstrap框架实现响应式布局,以适应不同设备.系统采用分层... 文章开发了一个集成Java多技术栈和Matlab的光学衍射仿真演示系统.该系统基于Spring Boot构建微服务架构,确保了系统的可伸缩性和灵活性.通过Ajax技术实现前后端数据交互,采用Bootstrap框架实现响应式布局,以适应不同设备.系统采用分层和面向服务的架构设计,可提高维护性和扩展性.核心算法由Matlab编写并编译为Java库,与后端集成,可优化仿真效率.系统无需额外插件或服务器,适合云部署,并能在多种终端上运行,提供了一个直观的光学原理学习和演示平台. 展开更多
关键词 光学衍射 虚拟仿真 Java多技术栈 Matlab集成 云存储
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纳秒激光对硅基底上的微纳颗粒的清洗研究 被引量:1
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作者 张雨阳 杨伟 +2 位作者 牛富增 谢仑靖 韩敬华 《激光与红外》 北大核心 2025年第9期1406-1413,共8页
激光清洗研究可以在航空航天和电子元件领域对微米甚至纳米的器件实现精确清洗,并有更加精确的控制。然而针对颗粒在激光清洗作用下不同尺寸的清洗机理以及温度变化情况研究较少。针对上述问题,本研究内容首先单利用激光器对硅表面氧化... 激光清洗研究可以在航空航天和电子元件领域对微米甚至纳米的器件实现精确清洗,并有更加精确的控制。然而针对颗粒在激光清洗作用下不同尺寸的清洗机理以及温度变化情况研究较少。针对上述问题,本研究内容首先单利用激光器对硅表面氧化铝微纳颗粒进行了清洗实验,然后根据理论分析和有限元仿真软件来分析激光在清洗时的温度变化和作用机理。结果表明,在能量为207mJ开始清洗,激光能量提升为激光能量为287mJ时,此时清洗的效果最好,在超过312mJ损伤基底;通过理论分析得到激光能量和颗粒半径都与清洗力成正比关系;颗粒越小,颗粒吸附的能力就越大,颗粒的形变程度也就越大,越难以清洗。这些结果证明了激光清洗硅片表面氧化铝颗粒的可行性和有效性,对于工业化激光清洗硅片表面氧化铝颗粒的参数选择具有重要参考意义。 展开更多
关键词 激光清洗 有限元模拟 温度分析 硅片 氧化铝颗粒
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基于毛细现象和迈克尔逊干涉法测量液体的折射率 被引量:1
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作者 朱超瑜 蔡佳亮 +5 位作者 庞松泽 韩文庆 魏平 高丽 陈小艺 李萍 《大学物理实验》 2025年第2期13-15,36,共4页
结合毛细现象和迈克尔逊干涉原理测量液体折射率。首先推导了干涉条纹吞(或吐)的速度与液体折射率的关系式。实验记录了液体经毛细管流出时干涉条纹吞(或吐)的变化视频。编写Matlab程序对视频进行数据处理得到干涉条纹吞(或吐)的速率,... 结合毛细现象和迈克尔逊干涉原理测量液体折射率。首先推导了干涉条纹吞(或吐)的速度与液体折射率的关系式。实验记录了液体经毛细管流出时干涉条纹吞(或吐)的变化视频。编写Matlab程序对视频进行数据处理得到干涉条纹吞(或吐)的速率,代入关系式计算得到了液体折射率,其相对误差为0.76%。实现了液体折射率方便,快捷,准确测量。 展开更多
关键词 液体折射率 迈克尔逊干涉 毛细现象
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基于微分方程的折射率与振动位移相干解耦技术研究
17
作者 赵嘉欣 张馨艺 +5 位作者 王奇 范松涛 李丽艳 王凯歌 王永杰 周燕 《光子学报》 北大核心 2025年第10期152-167,共16页
针对干涉型海水折射率传感器动平台应用中,因平台自运动导致的测量能力下降难题,基于传统Arctan解调算法,提出开展基于微分方程的折射率和振动位移相干解耦技术研究。建立微分方程解耦数学模型,并与传统Arctan数字解调算法进行了仿真对... 针对干涉型海水折射率传感器动平台应用中,因平台自运动导致的测量能力下降难题,基于传统Arctan解调算法,提出开展基于微分方程的折射率和振动位移相干解耦技术研究。建立微分方程解耦数学模型,并与传统Arctan数字解调算法进行了仿真对比分析,结果表明,在低频(小于300 Hz)振动扰动下,基于微分方程解调得到的折射率变化量的均方根误差、信噪比优于Arctan解调方法。实验进一步验证了在100 Hz、5μm和100 Hz、10μm振动条件下,微分方程解调的均方根误差分别是传统Arctan解调的0.48和0.55倍,信噪比分别提升4.77 dB和3.40 dB。 展开更多
关键词 海水折射率 干涉测量 相位解耦 水下航行器 解调
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SU-8微米光栅衍射性能研究
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作者 李景鹏 王珏 +5 位作者 张雪凤 李毅 岱钦 崔建丰 王磊 乌日娜 《强激光与粒子束》 北大核心 2025年第6期43-47,共5页
研究了栅高对SU-8微米光栅衍射效率的影响。使用严格耦合波理论模拟分析了栅高分别为6~8μm、12~16μm、6~30μm时的衍射效率,以及6~30μm连续变化的0级和1级衍射效率。模拟结果显示,栅高6μm时,0级衍射效率最低,1级衍射效率最高;在12μ... 研究了栅高对SU-8微米光栅衍射效率的影响。使用严格耦合波理论模拟分析了栅高分别为6~8μm、12~16μm、6~30μm时的衍射效率,以及6~30μm连续变化的0级和1级衍射效率。模拟结果显示,栅高6μm时,0级衍射效率最低,1级衍射效率最高;在12μm时,0级衍射效率最高,1级衍射效率最低。栅高6~30μm连续变化时,衍射效率随之周期性变化。制备不同厚度的SU-8薄膜,采用皮秒激光刻蚀技术,制备了不同栅高的40μm周期光栅。测量结果显示,周期40μm光栅的栅高6.83μm时,-1级衍射效率为28.4%, 0级衍射效率约为14.7%;栅高13.45μm时,0级衍射效率为31.46%,1级衍射效率12.35%。0级和1级衍射效率的大小随着栅高周期变化。理论模拟和实验探索,为SU-8微米光栅的制备和一级衍射效率的提高提供重要的参考。 展开更多
关键词 衍射光栅 衍射效率 严格耦合理论 皮秒加工
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基于Python的全域双点光源干涉仿真 被引量:2
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作者 肖同悦 黄文瑞 +1 位作者 黄佳燏 王凤鹏 《大学物理实验》 2025年第2期59-63,共5页
两个点光源的干涉现象是波动光学的重要基础。为了直观展示双点光源在全域空间的干涉现象,基于Python软件设计了一个仿真程序。在三维空间坐标中构建光源和光屏,根据两个点光源到达光屏上各点的光程差,计算出相应的干涉光强。使用旋转... 两个点光源的干涉现象是波动光学的重要基础。为了直观展示双点光源在全域空间的干涉现象,基于Python软件设计了一个仿真程序。在三维空间坐标中构建光源和光屏,根据两个点光源到达光屏上各点的光程差,计算出相应的干涉光强。使用旋转矩阵对光屏的位置和坐标进行变换,从而可以得到全域空间的干涉条纹。结果表明,该仿真程序可以方便地调节各种参数,直观连续地展示全域空间的干涉条纹图样,有利于帮助学生更好地理解光的干涉原理。 展开更多
关键词 PYTHON 双点光源干涉 全域空间 旋转矩阵 可视化
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基于近远场结合的微结构调制像差仿真
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作者 鲍帅 高志山 +5 位作者 霍霄 刘秋言 乔文佑 杨文卓 袁群 郭珍艳 《光学精密工程》 北大核心 2025年第5期716-727,共12页
基于光学成像原理的低相干显微干涉能够有效重建微结构表面的三维形貌,然而在测量高深宽比结构底部形貌的过程中探测光会受到结构调制产生波前畸变,导致测量失败。通过仿真计算能够得到微结构的像差调制规律,为其像差校正和补偿提供先... 基于光学成像原理的低相干显微干涉能够有效重建微结构表面的三维形貌,然而在测量高深宽比结构底部形貌的过程中探测光会受到结构调制产生波前畸变,导致测量失败。通过仿真计算能够得到微结构的像差调制规律,为其像差校正和补偿提供先验值。基于矢量衍射的电磁仿真方法能够准确地描述高深宽比微结构带来的复杂非线性调制,但此类方法数据量大、计算效率低,难以建立有效的三维仿真模型。针对该问题,提出一种近远场结合的像差仿真方法,以提高仿真的计算效率。采用基于全波模拟的时域有限差分法计算三维仿真中高深宽比微结构对探测光场的调制过程,得到经微结构调制后的探测光的近场分布,再通过带限缩放角谱法将探测光的近场分布传递至远场,实现调制像差的计算。通过实验装置测量了不同样品的调制像差验证了本文方法的准确性,同时仿真结果表明,在同等仿真精度下本文所提方法使计算速度提高了1倍以上。 展开更多
关键词 低相干显微干涉 样品调制像差 时域有限差分 带限缩放角谱 高深宽比微结构
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