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容性耦合等离子体的均匀性研究 被引量：7
1
作者 唐优青 丁可 +1 位作者 郭颖 赵建钢 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第9期984-990,共7页
使用朗缪尔双探针诊断方法,研究放电极板配置和放电参数对13.56 MHz容性耦合等离子体的电子温度、电子密度和电子能量密度分布的影响。其中极板配置包括圆孔极板、极板数量和极板间距,放电参数包括放电功率和放电气压。实验结果表明:极... 使用朗缪尔双探针诊断方法,研究放电极板配置和放电参数对13.56 MHz容性耦合等离子体的电子温度、电子密度和电子能量密度分布的影响。其中极板配置包括圆孔极板、极板数量和极板间距,放电参数包括放电功率和放电气压。实验结果表明:极板配置和放电参数不仅影响等离子体的电子温度、电子密度和电子能量密度,而且影响等离子分布的均匀性;两对放电极板和接地圆孔极板均提高了等离子体的均匀性,但降低了等离子体的电子密度和电子能量密度,其中两对放电极板可将电子密度的均匀性由77.9%提高至93.5%,而圆孔极板则可将电子密度的均匀性由77.9%提高至96.4%;高功率可获得高电子密度、高电子能量密度但低均匀性的等离子体。 展开更多
关键词 容性耦合等离子体 朗缪尔双探针 等离子体均匀性 圆孔极板
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Orlicz空间单位球面上一点的一致单调系数和局部一致单调性
2
作者 吕彦鸣 张义清 《南通工学院学报（自然科学版）》 2004年第3期5-7,共3页
文章给出了Orlicz空间单位球面上一点的一致单调系数的表达式;
关键词 单调性 一点的单调性 一致单调性 单调系数 ORLICZ空间 △2-条件
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赋p-Amemiya范数Orlicz空间的k-端点和k-强端点(1≤p≤∞) 被引量：3
3
作者 姜镕泽 王俊明 刘复生 《哈尔滨理工大学学报》 CAS 北大核心 2011年第2期90-93,共4页
给出了赋p-Amemiya(1≤p≤∞)范数Orlicz空间(记为LM,p空间)单位球面k-端点和k-强端点的判据,并据此得到了LM,p空间是k-严格凸和中点局部k-一致凸的充要条件.
关键词 LM p空间 K-端点 k-强端点
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射频激发容性耦合等离子体空间的不均匀性实验研究 被引量：2
4
作者 邵建国 张杰 +1 位作者 徐海朋 辛煜 《苏州大学学报（自然科学版）》 CAS 2010年第4期61-65,共5页
使用高分辨的等离子体发射光谱系统(OES)研究了射频驱动的容性耦合Ar等离子体的空间光谱分布特性.实验结果表明,等离子体发射强度的空间分布对压强、频率和放电腔体的结构有很强的依赖关系.边界效应(如电报效应、趋肤效应等)使得等离子... 使用高分辨的等离子体发射光谱系统(OES)研究了射频驱动的容性耦合Ar等离子体的空间光谱分布特性.实验结果表明,等离子体发射强度的空间分布对压强、频率和放电腔体的结构有很强的依赖关系.边界效应(如电报效应、趋肤效应等)使得等离子体发射光谱在电极边缘附近具有强的光谱强度,从而使得200 mm范围内等离子体的不均匀性高于100 mm范围内的情形;驻波效应的存在导致在反应器中心位置出现一个中等强度的谱峰;另外,由于射频波可以在介质板中传播,上极板覆盖有介质情况下的等离子体的不均匀性要高于无介质覆盖的情形. 展开更多
关键词 容性耦合等离子体 发射光谱仪(OES) 趋肤效应 驻波效应
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频率组合对容性耦合等离子体SiO_2刻蚀的影响 被引量：1
5
作者 杨玲 杨磊 辛煜 《苏州大学学报（自然科学版）》 CAS 2010年第4期53-56,共4页
使用两种频率组合(60 MHz/2 MHz,41 MHz/13.56 MHz)激发产生容性耦合等离子体,通过改变源气体流量比、射频源功率、自偏压等条件进行了SiO2介质刻蚀的实验研究.结果表明,两种频率组合中,SiO2的刻蚀速率随放电源功率和射频自偏压的增大... 使用两种频率组合(60 MHz/2 MHz,41 MHz/13.56 MHz)激发产生容性耦合等离子体,通过改变源气体流量比、射频源功率、自偏压等条件进行了SiO2介质刻蚀的实验研究.结果表明,两种频率组合中,SiO2的刻蚀速率随放电源功率和射频自偏压的增大而单调上升,然而,两种频率组合中SiO2的刻蚀速率随气体流量比的变化呈现出不一样的趋势:在6%流量比时,60 MHz/2 MHz频率组合中SiO2的刻蚀速率达到最小值,而41 MHz/13.56 MHz频率组合中SiO2的刻蚀速率达到最大值;随后60 MHz/2 MHz频率组合的刻蚀速率随着流量比的增加有所增加,而41 MHz/13.56 MHz频率组合的刻蚀速率随着流量比的增加呈现出先增加后减少的趋势,并且在20%之后表现出了沉积效果.60 MHz/2 MHz频率组合的SiO2介质刻蚀后的粗糙度优于41 MHz/13.56 MHz. 展开更多
关键词 电容耦合等离子体 刻蚀 粗糙度
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几乎次类凸集值映射向量最优化问题中的Henig真有效性 被引量：2
6
作者 夏良云 《苏州大学学报（自然科学版）》 CAS 2006年第3期25-29,共5页
在局部凸拓扑向量空间中,建立几乎次类凸集值映射向量最优化问题关于基的Henig真有效解的标量化定理,Lagrange乘子定理及其对偶性定理.本文引进了关于基的Henig鞍点,用它将关于基的Henig真有效性特征化.
关键词 几乎次类凸映射 Henig真有效解 Henig对偶性 Henig鞍点
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欧氏空间中n维超平行体的体积与性质
7
作者 史永铨 李忠 李远华 《淮南师范学院学报》 2005年第5期7-8,共2页
文章利用Gram行列式定义了欧氏空间中n维超平行体的体积并研究了相关的性质。
关键词 欧氏空间 n维超平行体 体积与性质
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关于Orlicz空间中依测度收敛点列的一点注
8
作者 王晶晶 严亚强 《苏州大学学报（自然科学版）》 CAS 2010年第1期1-5,共5页
给出Orlicz空间中依测度收敛的两个等价条件,并由此分别修正了陈述涛的专著《Geometry of Orlicz Space》中的两个收敛定理的证明.
关键词 ORLICZ空间 依测度收敛 Musielak—Orlicz空间
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关于Banach空间中的一致凸性的等价条件
9
作者 陈怡 严亚强 《苏州大学学报（自然科学版）》 CAS 2009年第2期5-8,共4页
给出了Banach空间一致凸性的十多种等价形式,研究了赋Luxemburg范数的Musielak-Orlicz空间一致凸性的刻划,并对陈述涛书中相应定理的证明作了修正.
关键词 BANACH空间 一致凸性 MUSIELAK-ORLICZ空间
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一类算子在Orlicz空间中的逼近
10
作者 盛保怀 《山西矿业学院学报》 1990年第1期46-55,共10页
关键词 ORLICZ空间 逼近 算子 正定理
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