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三波段大口径宽角度红外反射镜的研制
1
作者
张静
王鹤
+6 位作者
付秀华
潘永刚
林兆文
魏乃光
李冬旭
刘泽钰
杨飞
《中国光学(中英文)》
北大核心
2026年第1期133-142,共10页
多波段红外探测器可同步获取多波段辐射信息,在目标识别、分类、测温及信息提取等方面显著优于单波段红外探测器,因而成为红外探测器核心研究方向之一。三波段大口径宽角度红外反射镜作为多波段红外探测器的关键光学元件,其性能优劣直...
多波段红外探测器可同步获取多波段辐射信息,在目标识别、分类、测温及信息提取等方面显著优于单波段红外探测器,因而成为红外探测器核心研究方向之一。三波段大口径宽角度红外反射镜作为多波段红外探测器的关键光学元件,其性能优劣直接决定探测精度。在设计阶段,本文选用Ge、ZnS和YbF3三种材料,基于高反射膜的设计理论,通过光谱叠加法结合TFCalc软件优化获得结构合理的红外反射镜膜系。在制备阶段,采用离子源辅助沉积,通过优化沉积工艺解决了膜层脱落的问题。在光谱测试阶段,通过膜厚误差实验和YbF3工艺实验解决了样品光谱漂移的现象。测试结果表明,该红外反射镜在45°入射时,3~5μm波段平均反射率为96.93%;8~12μm波段平均反射率为96.54%;1.064μm反射率为94.64%;在270 mm×270 mm口径内3~5μm、8~12μm波段的光谱非均匀性为4.83%。参照国标GJB 2485A-2019作为环境测试标准,所制备样品成功通过附着力测试和高低温测试,满足多波段红外探测器的使用要求。
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关键词
大口径红外反射镜
全介质膜系设计
三波段高反射
离子辅助沉积工艺
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职称材料
题名
三波段大口径宽角度红外反射镜的研制
1
作者
张静
王鹤
付秀华
潘永刚
林兆文
魏乃光
李冬旭
刘泽钰
杨飞
机构
长春理工大学光电工程学院
长春理工大学中山研究院
中山吉联光电科技有限公司
山东有研国晶辉新材料有限公司
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《中国光学(中英文)》
北大核心
2026年第1期133-142,共10页
基金
中山市引进创新团队项目(No.CXTD2023008)
德州市重大科技创新工程项目(高分辨率红外热成像用CVD ZnSe制备关键技术研究)
吉林省科技发展计划项目资助(No.20230101008JC)。
文摘
多波段红外探测器可同步获取多波段辐射信息,在目标识别、分类、测温及信息提取等方面显著优于单波段红外探测器,因而成为红外探测器核心研究方向之一。三波段大口径宽角度红外反射镜作为多波段红外探测器的关键光学元件,其性能优劣直接决定探测精度。在设计阶段,本文选用Ge、ZnS和YbF3三种材料,基于高反射膜的设计理论,通过光谱叠加法结合TFCalc软件优化获得结构合理的红外反射镜膜系。在制备阶段,采用离子源辅助沉积,通过优化沉积工艺解决了膜层脱落的问题。在光谱测试阶段,通过膜厚误差实验和YbF3工艺实验解决了样品光谱漂移的现象。测试结果表明,该红外反射镜在45°入射时,3~5μm波段平均反射率为96.93%;8~12μm波段平均反射率为96.54%;1.064μm反射率为94.64%;在270 mm×270 mm口径内3~5μm、8~12μm波段的光谱非均匀性为4.83%。参照国标GJB 2485A-2019作为环境测试标准,所制备样品成功通过附着力测试和高低温测试,满足多波段红外探测器的使用要求。
关键词
大口径红外反射镜
全介质膜系设计
三波段高反射
离子辅助沉积工艺
Keywords
large-aperture infrared mirror
all-dielectric film system design
three-band high reflection
ionassisted deposition process
分类号
O11484 [理学—基础数学]
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职称材料
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作者
出处
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1
三波段大口径宽角度红外反射镜的研制
张静
王鹤
付秀华
潘永刚
林兆文
魏乃光
李冬旭
刘泽钰
杨飞
《中国光学(中英文)》
北大核心
2026
0
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