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题名微束射频容性放电应用于本科生创新实验教学
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作者
王奇
张宇
张莹莹
高飞
王真厚
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机构
大连理工大学物理学院
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出处
《实验室科学》
2025年第3期62-65,72,共5页
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基金
大连理工大学研究生教改基金(项目编号:JG2022086)。
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文摘
微束射频容性放电等离子体在纳米晶体颗粒生成等领域具有重要作用。基于前期的科研探索,将微束射频容性耦合放电特性研究应用于物理学院本科生的创新实验课程。实验表明,随着气压的升高,等离子体击穿放电通道展现出四种放电模式:均匀辉光放电模式、辉光通道收缩过渡模式、静态多通道放电模式、动态旋转多通道放电模式,且放电通道的数量随着气压的升高而增加。此实验设备模块搭建简洁,实验现象直观,可视化效果强,便于观察、易于采集,可重复性好。能使学生掌握放电等离子体的基本概念、仪器设备模块构成、产生条件、放电机理等,对于以后从事微电子、材料科学、真空技术、凝聚态、等离子体科学的学生都能起到很好的启蒙作用,适合在理工科高校的大学本科三年级学生中推广借鉴。
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关键词
低温等离子体
射频容性放电
微束放电
创新实验
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Keywords
low-temperature plasma
RF capacitive discharge
micro-beam discharge
innovation experiment
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分类号
O0461.21
[理学]
O0521.3
[理学]
O0539
[理学]
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