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原子层沉积氢掺杂氧化铟(InO_(x):H)薄膜的制备与性能研究
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作者 徐梁格 渠怀志 +3 位作者 滕祥青 杨磊 张善勇 朱嘉琦 《真空与低温》 2025年第2期133-139,共7页
红外透明导电材料能够同时具备优异的红外透过率与良好的电学性能,通过调控薄膜中的载流子迁移率与载流子浓度,可以兼顾良好的电学性能与高红外透过率。通过对沉积工艺参数的优化,系统分析了InO_(x):H薄膜的生长速率、微观结构以及光电... 红外透明导电材料能够同时具备优异的红外透过率与良好的电学性能,通过调控薄膜中的载流子迁移率与载流子浓度,可以兼顾良好的电学性能与高红外透过率。通过对沉积工艺参数的优化,系统分析了InO_(x):H薄膜的生长速率、微观结构以及光电性能。当沉积温度为100℃时,由于反应不完全,薄膜生长速率较慢并呈现无定形结构;此时载流子迁移率仅为30.18 cm^(2)/(V·s),但在波长4μm处的透过率可达80%。随着沉积温度升高,生长速率逐渐稳定于约0.1 nm/周期,薄膜由非晶态转变为结晶态,载流子迁移率显著提升,最高达到64.05 cm^(2)/(V·s),同时载流子浓度相应降低。此外,研究发现InCp/(O_(2)+H_(2)O)的脉冲时间比例及InCp脉冲时间对薄膜电学与光学特性的影响相对有限。继续增加沉积周期数后,载流子迁移率可突破80 cm^(2)/(V·s),然而此时光学性能显著下降,4μm处的透过率为39.5%。 展开更多
关键词 原子层沉积 氢掺杂氧化铟 迁移率 红外透明导电
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原子层沉积及其在透明导电薄膜领域的研究与应用 被引量:1
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作者 段超 李坤 +4 位作者 高岗 杨磊 徐梁格 浩钢 朱嘉琦 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第6期1052-1066,共15页
集成电路行业器件尺寸不断缩小,表面更复杂,对镀膜提出了更高的要求,而原子层沉积因其保形性和自限制生长的优势而获得了广泛的关注和研究。本文在简要介绍一些常用的镀膜方式基础上,对原子层沉积原理及自限制生长进行了重点介绍。以氧... 集成电路行业器件尺寸不断缩小,表面更复杂,对镀膜提出了更高的要求,而原子层沉积因其保形性和自限制生长的优势而获得了广泛的关注和研究。本文在简要介绍一些常用的镀膜方式基础上,对原子层沉积原理及自限制生长进行了重点介绍。以氧化铟为代表,通过对比分析说明原子层沉积制备薄膜在形貌、成分等方面的优越性,对不同方式制备的常见透明导电薄膜的光电性能进行了总结。详细讨论了原子层沉积的应用范围,包括在大尺寸基底,如大平面和大曲率基底上可以制备高质量薄膜,在小尺寸基底,如粉体、沟槽、微纳结构上仍然有着超高的保形性。最后对原子层沉积制备薄膜的优势进行了总结,对其独特的发展潜力进行了展望。 展开更多
关键词 原子层沉积 透明导电薄膜 镀膜方式 形貌 成分 光电性能
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共沉淀法制备YOF:Yb^(3+),Er^(3+)造影颗粒的发光性能及正交优化 被引量:1
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作者 麦金玲 王辰 +2 位作者 黄宝玥 徐梁格 张力图 《陶瓷学报》 CAS 北大核心 2021年第4期668-674,共7页
为了优化YOF:Yb^(3+),Er^(3+)纳米颗粒的发光性能,并促进其荧光造影能力,以YOF为基质、Yb^(3+)和Er^(3+)为掺杂离子,采用共沉淀法合成了纳米晶。通过正交试验和色品分析,筛选适合纯色、高荧光发射强度的制备工艺。结果表明,YOF:Yb^(3+),... 为了优化YOF:Yb^(3+),Er^(3+)纳米颗粒的发光性能,并促进其荧光造影能力,以YOF为基质、Yb^(3+)和Er^(3+)为掺杂离子,采用共沉淀法合成了纳米晶。通过正交试验和色品分析,筛选适合纯色、高荧光发射强度的制备工艺。结果表明,YOF:Yb^(3+),Er^(3+)纳米颗粒的TEM显微形貌界于圆形与蜂窝型之间,其尺寸约为50 nm。在980 nm激光照射下,其荧光发射红绿比较高。利用正交试验和色品分析水浴温度、煅烧时间及KF添加量三因素,最终确定在85℃水浴、煅烧1 h和1 mol KF条件下制备的试样最符合红光造影剂的性能要求。 展开更多
关键词 YOF 荧光 共沉淀法 正交试验 造影
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ZTA陶瓷基片表面ZSM-5分子筛薄膜的微波-水热合成 被引量:4
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作者 张颖 张钰 +1 位作者 徐梁格 王辰 《陶瓷学报》 CAS 北大核心 2018年第2期143-148,共6页
为了研究陶瓷基片表面ZSM-5分子筛薄膜的合成方法,并探究其理化及生物医学性能,以Silicalite-1为晶种,采用微波-水热两次生长法在ZTA纳米复相陶瓷基片表面合成了ZSM-5分子筛薄膜。结果表明:ZTA陶瓷基片表面合成了结晶度高、表面规整的ZS... 为了研究陶瓷基片表面ZSM-5分子筛薄膜的合成方法,并探究其理化及生物医学性能,以Silicalite-1为晶种,采用微波-水热两次生长法在ZTA纳米复相陶瓷基片表面合成了ZSM-5分子筛薄膜。结果表明:ZTA陶瓷基片表面合成了结晶度高、表面规整的ZSM-5分子筛薄膜;ZTA陶瓷基片/ZSM-5分子筛薄膜复合材料相对密度、抗弯强度、硬度和断裂韧性的最大均值分别达到了98.8%、455 MPa、17.7 GPa和5.8 MPa·m^(1/2);ZSM-5分子筛薄膜具有良好的亲水性、生物相容性和抑菌性。 展开更多
关键词 ZSM-5 分子筛薄膜 ZTA陶瓷 基片 微波-水热合成
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双惰性层包覆YOF纳米颗粒的荧光性能与细胞吞噬
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作者 何小静 王辰 +2 位作者 徐梁格 叶梦玲 林飞 《有色金属工程》 CAS 北大核心 2022年第7期11-17,共7页
为提升稀土基氟氧化物的荧光发射能力及细胞吞噬效果,采用双惰性层包覆工艺,同时利用功能性亲水聚合物进行表面修饰,制备获得YOF:Yb^(3+),Tm^(3+)@YOF:Yb^(3+)@mSiO_(2)-Py-FITC-β-CD纳米颗粒。使用透射电镜(TEM,含能谱分析)、紫外(UV-... 为提升稀土基氟氧化物的荧光发射能力及细胞吞噬效果,采用双惰性层包覆工艺,同时利用功能性亲水聚合物进行表面修饰,制备获得YOF:Yb^(3+),Tm^(3+)@YOF:Yb^(3+)@mSiO_(2)-Py-FITC-β-CD纳米颗粒。使用透射电镜(TEM,含能谱分析)、紫外(UV-Vis)及荧光(PL)分光光度计、傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)及共聚焦激光扫描显微镜(CLSM)分别对试样的成分、形貌、荧光及细胞吞噬能力等进行表征。结果表明:双惰性层包覆的纳米颗粒尺寸范围30~35 nm,且具有较强的上转换荧光锐峰发射,在475 nm处(蓝色)荧光寿命可达58.696μs。样品在浓度较低时(50μg/mL)易被RAW264.7细胞大量吞噬。 展开更多
关键词 上转换 惰性层 稀土氧化物 共沉淀法 细胞吞噬
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倾斜摄影技术在京杭运河徐州段三维建模中的应用研究 被引量:1
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作者 徐良格 尹萌 +1 位作者 薛振宁 左曦 《江苏水利》 2024年第5期41-44,共4页
结合京杭运河徐州段主河道及其支流开展的倾斜摄影与三维建模项目进行研究,提出了倾斜摄影与三维建模技术的优势与需求,并通过实际应用介绍了流域性河道开展倾斜摄影、三维建模与修饰的操作流程与关键步骤,为推进数字流域建设提供技术... 结合京杭运河徐州段主河道及其支流开展的倾斜摄影与三维建模项目进行研究,提出了倾斜摄影与三维建模技术的优势与需求,并通过实际应用介绍了流域性河道开展倾斜摄影、三维建模与修饰的操作流程与关键步骤,为推进数字流域建设提供技术参考。 展开更多
关键词 数字孪生 数据底板 倾斜摄影 三维建模 应用研究
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Yb/Er掺杂Y_(2)O_(3)纳米核壳颗粒的荧光性能及体内标定研究
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作者 麦金玲 王辰 +2 位作者 徐梁格 黄宝玥 张力图 《中国无机分析化学》 CAS 北大核心 2022年第5期80-85,共6页
为改善无机Y_(2)O_(3)上转换纳米粒子(UCNPs)的荧光性能,且同步实现其在生物体内的成像标定,通过共沉淀法及梯度合成工艺,制备出各组不同壳层厚度的Y_(2)O_(3):Yb^(3+),Er^(3+)@Y_(2)O_(3):Yb^(3+)UCNPs。利用透射电子显微镜(TEM)扫描、... 为改善无机Y_(2)O_(3)上转换纳米粒子(UCNPs)的荧光性能,且同步实现其在生物体内的成像标定,通过共沉淀法及梯度合成工艺,制备出各组不同壳层厚度的Y_(2)O_(3):Yb^(3+),Er^(3+)@Y_(2)O_(3):Yb^(3+)UCNPs。利用透射电子显微镜(TEM)扫描、X射线衍射(XRD)、上转换荧光(UCL)光谱、UCL寿命等对样品的形貌、结构及荧光性能进行了表征。结果表明:利用共沉淀法制得小尺寸Y_(2)O_(3):Yb^(3+),Er^(3+)@Y_(2)O_(3):Yb^(3+)纳米核壳颗粒,平均粒径范围在25.57~26.24 nm。通过调整Yb^(3+)浓度和水浴时间优化合成工艺,获得高发射强度、长荧光寿命方案(80%Yb掺杂,8 h水浴)。高红绿比的荧光发射特征,决定其在小动物体内荧光标定检测时更宜采用红色信道。 展开更多
关键词 共沉淀法 Y_(2)O_(3) 核壳颗粒 荧光 功能材料 小动物成像 标定物 热图
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Novel reparation method for polymethyl methacrylate optical windows of aircrafts damaged by service environment 被引量:1
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作者 XIA Fei YANG Lei +8 位作者 DAI Bing GAO Gang YANG ZhenHuai CAO WenXin xu liangge GENG FangJuan SONG ZiCheng RALCHENKO Victor ZHU JiaQi 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第8期1585-1590,共6页
The optical properties of polymethyl methacrylate(PMMA)with varying degrees of artificial scratches have been studied with the aim of reproducing the change of visibility of an aircraft’s PMMA optical windows after b... The optical properties of polymethyl methacrylate(PMMA)with varying degrees of artificial scratches have been studied with the aim of reproducing the change of visibility of an aircraft’s PMMA optical windows after being damaged in their service environment.A novel maintenance method that can perfectly restore the optical property of PMMA has been identified and employed in the repair of the scratches that are formed on the surface of PMMA.This convenient and low-cost method entails polishing PMMA with different types of sandpaper to remove the scratches,and then spin-coating the repair solution in order to restore the optical properties of PMMA.The effect of this repair mechanism and parameters of the repair process were studied.The results indicated that the optical performance of PMMA is closely related to the mesh size of sandpaper,and improper parameter selection destroys the general effect of the repair.When the number of sandpaper mesh is low,the size of the abrasive particle is relatively larger,which can cause deeper friction marks on the surface of PMMA optical windows.Surface treatment using 5000 mesh sandpaper lowers surface roughness(R——a=0.566 nm),and optical transmittance in visible range can be restored to more than 88%. 展开更多
关键词 polymethyl methacrylate(PMMA) surface treatment optical property repair mechanism
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Effect of thickness on infrared optical property of VO2 film deposited by magnetron sputtering
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作者 YANG ZhenHuai YANG QiuLing +8 位作者 YANG Lei DAI Bing XIA Fei WANG Peng GUO Shuai GAO Gang xu liangge ZHANG YuMin ZHU JiaQi 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第8期1591-1598,共8页
A series of VO2 films with different thicknesses(from about 25 nm to 250 nm)were prepared on sapphire substrates by radio frequency magnetron sputtering.The deposition times varied from 15 min to 150 min.The metal to ... A series of VO2 films with different thicknesses(from about 25 nm to 250 nm)were prepared on sapphire substrates by radio frequency magnetron sputtering.The deposition times varied from 15 min to 150 min.The metal to insulator transitions(MIT)of the films were studied.The optical transmittance of the films to infrared light(with a wavelength of 4.0μm)at room temperature(30℃)varied significantly with film thickness,ranging from 86.53%to 41.01%.The modulation property also changes with thickness,decreasing from 22.89%to 14.74%.The phase transition temperature remained approximately 70℃during heating,and approximately 53℃during cooling,despite a tenfold increase in the deposition time,and the resulting thickness of the films.Raman spectroscopy of the films indicated that the intensities of the characteristic peaks corresponding to V2O5 increase with the increasing of film thickness.Temperature-dependent Raman spectroscopy indicated that the peaks corresponding to VO2 undergo reversible changes during heating and cooling of the films,while the peaks corresponding to V2O5 remain unchanged throughout.Careful control of the V2O5 content of the films(by varying the duration of the deposition process)allows control over their transmittance and optical modulation properties without changes in the phase transition temperature.This provides a new method of controlling the optical properties of these materials and shows promise for their potential applications in thermochromic windows. 展开更多
关键词 Vanadium dioxide mid-infrared transmittance phase transition temperature magnetron sputtering
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