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X切LNOI谐振器的横模抑制方法研究
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作者 王浩东 帅垚 +3 位作者 吴传贵 彭斌 潘忻强 张万里 《压电与声光》 北大核心 2025年第3期474-478,共5页
研究了基于X切LNOI(LiNbO_(3)on Insulator)衬底的声表面波谐振器。在保持谐振器品质因数(Q)值不变的情况下,采用电极假指长度加权的方法来抑制横向模态。设计并制备了不同结构的加权电极结构谐振器,系统地探讨了电极加权周期及幅值对... 研究了基于X切LNOI(LiNbO_(3)on Insulator)衬底的声表面波谐振器。在保持谐振器品质因数(Q)值不变的情况下,采用电极假指长度加权的方法来抑制横向模态。设计并制备了不同结构的加权电极结构谐振器,系统地探讨了电极加权周期及幅值对横向模态的影响规律。通过对比分析,确定了在频率2.5 GHz下X切LNOI结构的最佳加权电极结构。实验结果表明,调整加权电极的设计可以有效抑制因X切LN(LiNbO_(3))材料引发的横向模态,进而优化谐振器的性能。 展开更多
关键词 LNOI 声表面波 机电耦合系数 横向模态抑制 加权电极
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倾斜小锤结构对SAW谐振器性能的影响研究
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作者 李强 帅垚 +2 位作者 吴传贵 罗文博 张万里 《压电与声光》 北大核心 2025年第3期484-489,共6页
为了提升5G时代高频滤波器的性能,研究了基于X-37°Y LiNbO3为压电衬底的固态装配型谐振器(SMR)结构的声表面波(SAW)谐振器。通过二维和三维有限元仿真,研究了谐振器结构参数对其性能的影响,并通过流片验证了仿真结果。结果表明,该... 为了提升5G时代高频滤波器的性能,研究了基于X-37°Y LiNbO3为压电衬底的固态装配型谐振器(SMR)结构的声表面波(SAW)谐振器。通过二维和三维有限元仿真,研究了谐振器结构参数对其性能的影响,并通过流片验证了仿真结果。结果表明,该结构下旋转角37°时谐振器性能最优,且倾斜角度的增加可增强对横向模态杂散的抑制效果,当倾斜角度超过18°后效果减弱并引入新的杂散。倾斜小锤结构在一定程度上能提高谐振器的品质因数(Q)值,由此确定其最佳倾斜角度为15°~18°,且能在抑制杂散和保持Q值间取得平衡,这为高频SAW滤波器提供了设计指导。 展开更多
关键词 固态装配型谐振器(SMR) 声表面波谐振器 有限元仿真 倾斜小锤结构 品质因数
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具有布喇格反射层谐振器带内横模抑制结构设计
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作者 李磊 帅垚 +5 位作者 李金晔 范维 吴达豪 罗文博 吴传贵 张万里 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期262-267,共6页
研究了基于X切铌酸锂材料且具有布喇格反射层结构的谐振器,通过有限元(FEM)仿真模拟计算了面内旋转角和Al电极厚度对机电耦合系数、相速度和阻抗比的影响。搭建三维有限元(3D FEM)结构探究了谐振器带内的横向模式与半周期的关系,并对比... 研究了基于X切铌酸锂材料且具有布喇格反射层结构的谐振器,通过有限元(FEM)仿真模拟计算了面内旋转角和Al电极厚度对机电耦合系数、相速度和阻抗比的影响。搭建三维有限元(3D FEM)结构探究了谐振器带内的横向模式与半周期的关系,并对比了两种小锤结构对横向模式的抑制作用,小锤结构无法对SMR谐振器的横向模式进行有效抑制。设计了3种加权谐振器结构,分别是加权无假指、加权有假指和加权有小锤。实验对比了普通谐振器与3种加权谐振器的性能。结果表明,3种加权谐振器的机电耦合系数(K^(2))都超过了15%,阻抗比约为60 dB,均对带内横向模式有明显的抑制作用。 展开更多
关键词 声表面波谐振器 S_(0)模态 X切LN 横向模式抑制 加权结构
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用于N77频段的高优值S_(0)兰姆波声表面波谐振器仿真与制备
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作者 蔡乔 帅垚 +3 位作者 彭斌 吴传贵 潘忻强 张万里 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期209-214,共6页
N77频段对声表面波滤波器提出了大带宽、低损耗等要求,但使用低声速声学模态以及单层功能层衬底结构的谐振器无法同时实现高频、宽带的目标,因此提出了基于X-37°Y铌酸锂薄膜与SiO_(2)/Ta_(2)O_(5)布喇格反射层设计,并制备了固态装... N77频段对声表面波滤波器提出了大带宽、低损耗等要求,但使用低声速声学模态以及单层功能层衬底结构的谐振器无法同时实现高频、宽带的目标,因此提出了基于X-37°Y铌酸锂薄膜与SiO_(2)/Ta_(2)O_(5)布喇格反射层设计,并制备了固态装配型的声表面波谐振器。首先确定谐振器的工作模态为高相速度S_(0)兰姆波,通过仿真各层薄膜厚度对器件性能的影响,确定了谐振器中各层薄膜材料的厚度;然后基于该器件结构参数,针对N77频段制备了一组电极周期为1.40~1.86μm的谐振器并对其性能进行测试。结果表明,实测结果与仿真基本一致,实测谐振器具有大机电耦合系数(k^(2)>22%)和高品质因子(Q_(max)>900)的特性,且优值因子超过200,性能优于采用同种声学模式的其他谐振器,有望应用于N77等5G频段的滤波器。 展开更多
关键词 S_(0)兰姆波 声表面波谐振器 布喇格反射层 N77频段 高优值因子
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基于S_(0)模态的谐振器杂波抑制方法
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作者 郭天赐 帅垚 +2 位作者 罗文博 吴传贵 张万里 《压电与声光》 北大核心 2025年第3期479-483,共5页
杂波抑制是高性能声表面波(SAW)谐振器面临的一个巨大挑战。为了抑制在高频宽带谐振器出现的杂波,以X-40°Y-LiNbO_(3)(LN)/SiO_(2)/Ta_(2)O_(5)/SiO_(2)/Ta_(2)O_(5)/SiO_(2)/Si结构为衬底激发S0模态声表面波,得到高频宽带的谐振器... 杂波抑制是高性能声表面波(SAW)谐振器面临的一个巨大挑战。为了抑制在高频宽带谐振器出现的杂波,以X-40°Y-LiNbO_(3)(LN)/SiO_(2)/Ta_(2)O_(5)/SiO_(2)/Ta_(2)O_(5)/SiO_(2)/Si结构为衬底激发S0模态声表面波,得到高频宽带的谐振器,同时对杂波抑制进行了深入研究。提出了两种新型叉指换能器(IDT)设计方案,并进行仿真和流片验证。测试结果表明,所提出的三母线IDT结构为高频宽带谐振器提供了良好的杂波抑制,同时使品质因数(Q)与正常类型谐振器保持相同的水平。通过流片测试比较了不同切指形状叉指换能器(IDT)对谐振器的杂波抑制效果。 展开更多
关键词 谐振器 杂波抑制 机电耦合系数 叉指结构 切指
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小锤结构对SMR SAW谐振器的杂散抑制研究
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作者 韩捷 帅垚 +2 位作者 罗文博 吴传贵 张万里 《压电与声光》 北大核心 2025年第4期693-697,共5页
为了适应5G新频段的发展,研究了SMR SAW谐振器中小锤结构对谐振器性能的影响。通过二维和三维有限元仿真,研究了谐振器结构参数对性能的影响,并通过流片验证了仿真结果。仿真结果表明,在三小锤结构下,当小锤长度为1.6倍半周期时,谐振器... 为了适应5G新频段的发展,研究了SMR SAW谐振器中小锤结构对谐振器性能的影响。通过二维和三维有限元仿真,研究了谐振器结构参数对性能的影响,并通过流片验证了仿真结果。仿真结果表明,在三小锤结构下,当小锤长度为1.6倍半周期时,谐振器的横向模态杂散较弱。提出一种新型的双小锤加权结构,通过在谐振器的上、下半部分分别设置不同长度的小锤,进一步抑制了带内杂散,提高了谐振器的性能。实验结果表明,双小锤加权结构在抑制带内杂散方面效果明显,谐振器的机电耦合系数和阻抗比得到提升。 展开更多
关键词 SMR SAW 小锤结构 双小锤加权结构 阻抗比 横向模态杂散
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用于构建神经元的非易失性忆阻器的置回特性研究
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作者 佟俊德 潘忻强 +2 位作者 帅垚 罗文博 吴传贵 《电子元件与材料》 北大核心 2025年第5期524-530,共7页
基于可作为突触的非易失性忆阻器构建神经元,有望将构建突触和神经元统一到一种器件上,但基于非易失性忆阻器构建神经元的关键是需要完成发放后的置回,而目前缺乏针对忆阻置回方法的研究。针对具有良好忆阻特性的单晶LiNbO_(3)薄膜忆阻... 基于可作为突触的非易失性忆阻器构建神经元,有望将构建突触和神经元统一到一种器件上,但基于非易失性忆阻器构建神经元的关键是需要完成发放后的置回,而目前缺乏针对忆阻置回方法的研究。针对具有良好忆阻特性的单晶LiNbO_(3)薄膜忆阻器,开展了置回特性研究。研究了等幅电压脉冲序列作用下的置回特性,发现其难以满足置回要求。在此基础上,研究了幅值渐变的电压脉冲序列的置回作用,重点研究了最大脉冲幅值和脉冲宽度的影响,优化了幅值渐变电压脉冲序列参数,厘清了置回作用与积分作用的平衡关系,采用最大脉冲幅值为7 V和脉冲宽度为40 ms的幅值渐变电压脉冲序列将单晶LiNbO_(3)薄膜忆阻器的电阻值置回至200 kΩ以下,并在20次积分-置回循环中具有稳定的阻值变化范围。 展开更多
关键词 忆阻器 单晶LiNbO_(3)薄膜 人工神经元 置回特性
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Star point positioning for large dynamic star sensors in near space based on capsule network
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作者 Zhen LIAO Hongyuan WANG +3 位作者 Xunjiang ZHENG Yunzhao ZANG Yinxi LU shuai yao 《Chinese Journal of Aeronautics》 2025年第2期418-431,共14页
In order to solve the problem that the star point positioning accuracy of the star sensor in near space is decreased due to atmospheric background stray light and rapid maneuvering of platform, this paper proposes a s... In order to solve the problem that the star point positioning accuracy of the star sensor in near space is decreased due to atmospheric background stray light and rapid maneuvering of platform, this paper proposes a star point positioning algorithm based on the capsule network whose input and output are both vectors. First, a PCTL (Probability-Coordinate Transformation Layer) is designed to represent the mapping relationship between the probability output of the capsule network and the star point sub-pixel coordinates. Then, Coordconv Layer is introduced to implement explicit encoding of space information and the probability is used as the centroid weight to achieve the conversion between probability and star point sub-pixel coordinates, which improves the network’s ability to perceive star point positions. Finally, based on the dynamic imaging principle of star sensors and the characteristics of near-space environment, a star map dataset for algorithm training and testing is constructed. The simulation results show that the proposed algorithm reduces the MAE (Mean Absolute Error) and RMSE (Root Mean Square Error) of the star point positioning by 36.1% and 41.7% respectively compared with the traditional algorithm. The research results can provide important theory and technical support for the scheme design, index demonstration, test and evaluation of large dynamic star sensors in near space. 展开更多
关键词 Star point positioning Star trackers Capsule network Deep learning Dynamic imaging Near space application
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数学拔尖创新人才教育经历及其职业发展成就——中国IMO获奖者的发展轨迹分析
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作者 帅瑶 柴亦林 《高等理科教育》 2025年第5期52-63,共12页
本研究以数学拔尖创新人才为研究对象,选取1985—2019年间184位国际数学奥林匹克竞赛(IMO)获奖者作为样本,通过简历分析法系统考察其生源地分布、教育经历、学术流动及职业发展路径等,深入探究其成长规律。研究发现:(1)生源地呈现显著... 本研究以数学拔尖创新人才为研究对象,选取1985—2019年间184位国际数学奥林匹克竞赛(IMO)获奖者作为样本,通过简历分析法系统考察其生源地分布、教育经历、学术流动及职业发展路径等,深入探究其成长规律。研究发现:(1)生源地呈现显著非均衡集聚特点,沪京鄂湘四地占比超70%,区域教育资源虹吸效应突出。(2)教育优势积累效应显著,75%获奖者选择本—硕—博贯通式的精英教育路径,80%选择跨境读博深造。(3)职业发展呈现“学术主导—多元共生”的双循环格局,54%获奖者选择学术职业,人才回流趋势显著。(4)获奖者的职业方向与其教育路径的国际化程度和学位层次紧密相关,跨境深造显著导向高校、金融等全球性领域,而本土连贯路径则更多服务于基础教育或本土创新创业。研究结果对优化数学拔尖人才选拔机制和建设全球数学人才高地具有重要启示。 展开更多
关键词 数学 拔尖创新人才 IMO获奖者 发展轨迹 简历分析
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Profiling the chemical differences of diterpenoid alkaloids in different processed products of Aconiti Lateralis Radix Praeparata by UHPLC-LTQ-Orbitrap mass spectrometry combined with untargeted metabolomics and mass spectrometry imaging
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作者 Yang Yu Changliang yao +5 位作者 Jianqing Zhang Yong Huang shuai yao Hua Qu Tong Zhang Dean Guo 《Chinese Journal of Natural Medicines》 2025年第8期1009-1015,共7页
Aconiti Lateralis Radix Praeparata(Fuzi)represents a significant traditional Chinese medicine(TCM)that exhibits both notable pharmacological effects and toxicity.Various processing methods are implemented to reduce th... Aconiti Lateralis Radix Praeparata(Fuzi)represents a significant traditional Chinese medicine(TCM)that exhibits both notable pharmacological effects and toxicity.Various processing methods are implemented to reduce the toxicity of raw Fuzi by modifying its toxic and effective components,primarily diterpenoid alkaloids.To comprehensively analyze the chemical variations between different Fuzi products,ultra-high performance liquid chromatography-linear ion trap quadrupole Orbitrap mass spectrometry(UHPLC-LTQ-Orbitrap MS)was employed to systematically characterize Shengfuzi,Heishunpian and Baifupian.A total of 249 diterpenoid alkaloids present in Shengfuzi were identified,while only 111 and 61 in Heishunpian and Baifupian were detected respectively,indicating substantial differences among these products.An untargeted metabolomics approach combined with multivariate statistical analysis revealed 42 potential chemical markers.Through subsequent validation using 52 batches of commercial Heishunpian and Baifupian samples,8 robust markers distinguishing these products were identified,including AC1-propanoic acid-3OH,HE-glucoside,HE-hydroxyvaleric acid-2OH,dihydrosphingosine,N-dodecoxycarbonylvaline and three unknown compounds.Additionally,the MS imaging(MSI)technique was utilized to visualize the spatial distribution of chemical constituents in raw Fuzi,revealing how different processing procedures affect the chemical variations between Heishunpian and Baifupian.The distribution patterns of different diterpenoid alkaloid subtypes partially explained the chemical differences among products.This research provides valuable insights into the material basis for future investigations of different Fuzi products. 展开更多
关键词 Aconiti Lateralis Radix Praeparata Diterpenoid alkaloids Processing Untargeted metabolomics Mass spectrometry imaging
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CONCENTRATION AND UNIQUENESS OF MINIMIZERS FOR FRACTIONAL SCHRÖDINGER ENERGY FUNCTIONALS
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作者 Lintao LIU shuai yao +1 位作者 Kaimin TENG Haibo CHEN 《Acta Mathematica Scientia》 2025年第5期1981-2009,共29页
We consider a constrained minimization problem arising in the fractional Schrödinger equation with a trapping potential.By exploring some delicate energy estimates and studying decay properties of solution sequen... We consider a constrained minimization problem arising in the fractional Schrödinger equation with a trapping potential.By exploring some delicate energy estimates and studying decay properties of solution sequences,we obtain the concentration behavior of each minimizer of the fractional Schrödinger energy functional when a↗a^(*):=‖Q‖_(2)^(2s),where Q is the unique positive radial solution of (-△)^(s)u+su-|u|2su=0 in R^(2).Based on the discussion of the concentration phenomenon,we prove the local uniqueness of minimizers by establishing a local Poho zaev identity and studying the blow-up estimates to the nonlocal operator(-△)^(s). 展开更多
关键词 CONCENTRATION energy estimates asymptotic uniqueness Pohozaev identity
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单晶铌酸锂薄膜的转移制备技术研究 被引量:1
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作者 帅垚 李宏亮 +2 位作者 吴传贵 王韬 张万里 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2019年第7期7-12,共6页
以苯并环丁烯(Benzocyclobutene,BCB)作为键合层,采用离子注入剥离技术制备了Y36切型的单晶铌酸锂薄膜材料。经过对BCB键合层的前烘时间和退火曲线进行系统的研究,克服了由于铌酸锂和BCB之间热膨胀系数不匹配所导致的铌酸锂薄膜开裂问题... 以苯并环丁烯(Benzocyclobutene,BCB)作为键合层,采用离子注入剥离技术制备了Y36切型的单晶铌酸锂薄膜材料。经过对BCB键合层的前烘时间和退火曲线进行系统的研究,克服了由于铌酸锂和BCB之间热膨胀系数不匹配所导致的铌酸锂薄膜开裂问题,获得了高质量的Y36切型单晶铌酸锂薄膜材料。此外,通过在晶圆键合之前预先制备图形化的金属层,获得了带有下电极功能层的单晶铌酸锂薄膜,可应用于薄膜体声波谐振器等具有金属-绝缘层-金属结构的器件。 展开更多
关键词 铌酸锂薄膜 晶圆键合 离子注入剥离技术 BCB
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单端口声表面波谐振器在片去嵌方法分析 被引量:4
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作者 韩晓宇 帅垚 +3 位作者 吴传贵 罗文博 潘忻强 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第3期342-345,共4页
为了准确地设计声表滤波器,需要从参考声表面波(SAW)谐振器的测量值中提取精确的材料参数。测量SAW谐振器时,单个谐振器无法直接进行测试,需要引出传输线并使用GSG或GS探针进行测量,消除传输线影响的去嵌入过程对于SAW谐振器材料参数的... 为了准确地设计声表滤波器,需要从参考声表面波(SAW)谐振器的测量值中提取精确的材料参数。测量SAW谐振器时,单个谐振器无法直接进行测试,需要引出传输线并使用GSG或GS探针进行测量,消除传输线影响的去嵌入过程对于SAW谐振器材料参数的准确提取非常重要。该文介绍了几种声表面波谐振器的去嵌入技术,包括Open-Short算法、电磁仿真方法、分段等效电路模型方法、集总参数等效电路法。通过实例验证了几种常用的去嵌方法并对其进行了分析。 展开更多
关键词 去嵌入 SAW谐振器 机电耦合系数 等效电路 集总参数法
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用复配酶生物酶解提取原生态杜仲胶丝工艺研究 被引量:6
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作者 贺扬洁 季春 +4 位作者 陶菡 谢玲 帅瑶 刘丰 田运霞 《合成橡胶工业》 CAS 北大核心 2020年第4期280-285,共6页
采用生物酶解法对包裹在杜仲胶外层的植物组织进行降解以获得原生态杜仲胶丝。以酶解液中的糖含量和酶解后粗胶中的杜仲胶含量为指标,先对生物酶种类及复配酶配比进行筛选,随后用实验因子设计考察了酶解温度、酶解时间、酶解pH值及酶液... 采用生物酶解法对包裹在杜仲胶外层的植物组织进行降解以获得原生态杜仲胶丝。以酶解液中的糖含量和酶解后粗胶中的杜仲胶含量为指标,先对生物酶种类及复配酶配比进行筛选,随后用实验因子设计考察了酶解温度、酶解时间、酶解pH值及酶液浓度对酶解效果的影响。结果表明,复配酶的酶解效果要优于单一酶,酶解工艺的最佳条件为:酶解温度50℃,酶解时间4 h,酶解pH值6.0,复配酶液质量浓度4.0 g/L。在此优化条件下,酶解后粗胶原料中的杜仲胶质量分数可达(47.42±1.07)%,大量的杜仲胶丝暴露在植物残渣外层,而且保持了杜仲胶丝的原生状态。 展开更多
关键词 杜仲胶 生物酶解 杜仲籽皮 复配酶 工艺条件
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I.H.P.SAW谐振器孔径对性能的影响 被引量:3
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作者 钱一聪 帅垚 +3 位作者 吴传贵 罗文博 潘忻强 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第3期350-354,共5页
该文研究了在超高性能声表面波(I.H.P.SAW)衬底上,孔径总长对叉指末端具有能够抑制横向模态的小锤结构的谐振器性能。在衬底结构为Y 42°-钽酸锂(Y42°-LT)/SiO_(2)/多晶硅(Poly-Si)/Si上,通过建立对应的有限元三维仿真模型,初... 该文研究了在超高性能声表面波(I.H.P.SAW)衬底上,孔径总长对叉指末端具有能够抑制横向模态的小锤结构的谐振器性能。在衬底结构为Y 42°-钽酸锂(Y42°-LT)/SiO_(2)/多晶硅(Poly-Si)/Si上,通过建立对应的有限元三维仿真模型,初步得出在小锤结构下孔径总长的增大能够抑制横向模态杂散的结论。绘制了周期T为1.44μm、2μm、2.56μm下,孔径总长为7.5T、10T、15T、20T、25T、32.5T、40T的单端口谐振器版图并进行流片。通过实测结果表明,在不同周期下,随着孔径总长的不断增加,对谐振器横向模态的抑制会不断增强,机电耦合系数也不断增加,在孔径总长约为20T时阻抗比最高。仿真和实测结果体现了孔径总长对I.H.P.SAW谐振器的性能影响较大,为应用于I.H.P.SAW滤波器中的高性能谐振器提供了设计指导。 展开更多
关键词 I.H.P.SAW 谐振器 孔径长度 机电耦合系数 阻抗比
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单晶铌酸锂薄膜光波导的制备研究 被引量:2
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作者 高琴 乔石珺 +4 位作者 帅垚 杨小妮 罗文博 吴传贵 张万里 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第1期44-49,共6页
为了优化单晶铌酸锂薄膜光波导的性能,研究了基于单晶铌酸锂薄膜材料的光波导刻蚀工艺。虽然Ar^(+)物理刻蚀能够达到最高95 nm/min的刻蚀速率,但难以获得光滑的波导侧壁,且以Cr作为掩膜的刻蚀选择比为1∶1,这意味着较差的选择性使其难... 为了优化单晶铌酸锂薄膜光波导的性能,研究了基于单晶铌酸锂薄膜材料的光波导刻蚀工艺。虽然Ar^(+)物理刻蚀能够达到最高95 nm/min的刻蚀速率,但难以获得光滑的波导侧壁,且以Cr作为掩膜的刻蚀选择比为1∶1,这意味着较差的选择性使其难以实现铌酸锂的深刻蚀。而采用反应离子刻蚀(RIE)得到的刻蚀速率较低,但是以Cr作为掩膜的刻蚀选择比能够达到6∶1以上,同时能够获得光滑、陡直的侧壁形貌。最终在450 nm厚度的单晶铌酸锂薄膜上,采用RIE制备了宽度为4μm、高度为370 nm的脊型光波导,并以端面耦合的方法进行测试,得到该波导的传输损耗约为5.2 dB/cm。 展开更多
关键词 铌酸锂 氩离子刻蚀 反应离子刻蚀 光波导
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基于混合气体活化的硅基钽酸锂晶圆键合研究 被引量:2
17
作者 刘等等 帅垚 +2 位作者 黄诗田 吴传贵 张万里 《电子元件与材料》 CAS 北大核心 2023年第6期693-698,共6页
集成在硅基衬底上的钽酸锂薄膜在新型声学器件上具有重要应用,等离子体活化键合是其主要的集成方式,相关研究报道众多但仍缺乏对等离子体活化工艺的深入研究。本文研究了LT和Si衬底晶圆在不同活化气氛、频率和时间下的亲水性接触角变化... 集成在硅基衬底上的钽酸锂薄膜在新型声学器件上具有重要应用,等离子体活化键合是其主要的集成方式,相关研究报道众多但仍缺乏对等离子体活化工艺的深入研究。本文研究了LT和Si衬底晶圆在不同活化气氛、频率和时间下的亲水性接触角变化情况,探索了一套可以显著提高键合强度的活化参数。研究结果发现,对晶圆表面采用N_(2)加O_(2)混合活化60 s后,LT和Si衬底晶圆亲水性接触角达到最小值,分别为4.244°和3.859°。键合后用SEM扫描了样片的横截面,发现键合质量良好。最后对比了用O_(2)、N_(2)和Ar活化60 s,以及N_(2)加O_(2)混合活化60 s后键合片的键合强度,发现混合气体活化后键合强度最大,达到了9.05 MPa。 展开更多
关键词 晶圆键合 亲水角 活化 钽酸锂 硅基 键合强度
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电磁寄生参数对SAW滤波器性能的影响 被引量:1
18
作者 魏园林 帅垚 +3 位作者 魏子杰 吴传贵 罗文博 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期463-467,共5页
设计了B41频段的声表面波(SAW)滤波器,利用三维电磁场仿真工具HFSS建立表面贴装器件(SMD)封装和芯片级(CSP)封装模型,对比两种封装的声-电磁联合仿真结果得出,在滤波器电路拓扑结构中,当2条不同并联支路连接在一起时,由于SMD封装键合引... 设计了B41频段的声表面波(SAW)滤波器,利用三维电磁场仿真工具HFSS建立表面贴装器件(SMD)封装和芯片级(CSP)封装模型,对比两种封装的声-电磁联合仿真结果得出,在滤波器电路拓扑结构中,当2条不同并联支路连接在一起时,由于SMD封装键合引线的电磁寄生参数影响,滤波器在高频处的带外抑制会出现“上翘”。建立不同键合线数量、直径及长度的SMD封装模型,并仿真计算S参数。对比仿真结果可知,随着键合线直径的增大和长度的减小,其等效电感逐渐变小,即键合线的电磁寄生参数逐渐减小,对SAW滤波器性能的影响逐渐减弱,高频处的带外抑制性能得到优化。结果表明,CSP封装植球倒扣的电磁寄生参数更小,声-电磁联合仿真的结果更优,与实测结果吻合较好。 展开更多
关键词 SAW滤波器 表面贴装器件(SMD)封装 芯片级(CSP)封装 电磁寄生参数 带外抑制 键合线
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单晶薄膜体声波谐振器频率温度特性研究 被引量:1
19
作者 简珂 帅垚 +4 位作者 田本朗 白晓园 罗文博 吴传贵 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第4期448-452,共5页
采用离子注入剥离法转移制备了43°Y-切铌酸锂(LiNbO3,LN)单晶压电薄膜材料,以SiO2/Mo作为声反射结构制备了固态声反射型薄膜体声波器件。谐振器工作频率约为3 GHz,LN薄膜等效机电耦合系数达到14.15%。对谐振器的频率温度特性进行... 采用离子注入剥离法转移制备了43°Y-切铌酸锂(LiNbO3,LN)单晶压电薄膜材料,以SiO2/Mo作为声反射结构制备了固态声反射型薄膜体声波器件。谐振器工作频率约为3 GHz,LN薄膜等效机电耦合系数达到14.15%。对谐振器的频率温度特性进行了表征,结果表明,尽管LN单晶的频率温度系数为(-70^-90)×10^-6/℃,但由于声反射结构中包含有正温度系数的SiO2层,谐振器的频率温度系数降至-18×10^-6/℃,这表明固态声反射结构能够有效抑制单晶LN薄膜的温漂,获得低频率温度系数的谐振器器件。 展开更多
关键词 体声波谐振器 离子注入剥离法 铌酸锂单晶薄膜 固态声反射结构 机电耦合系数 频率温度系数
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面内传播方向对SAW滤波器性能的影响研究 被引量:1
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作者 朱建宇 魏子杰 +7 位作者 范维 李沛然 钱一聪 帅垚 吴传贵 罗文博 潘忻强 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期435-438,共4页
为了满足窄带声表面波滤波器对品质因数Q值和带外抑制日益增长的需求,提出了一种窄带滤波器设计方法。在基于新型POI结构谐振器的基础上,通过旋转谐振器达到改变波传播角度的目的,并利用二维全模型得到准确的实验数据,与原结构谐振器分... 为了满足窄带声表面波滤波器对品质因数Q值和带外抑制日益增长的需求,提出了一种窄带滤波器设计方法。在基于新型POI结构谐振器的基础上,通过旋转谐振器达到改变波传播角度的目的,并利用二维全模型得到准确的实验数据,与原结构谐振器分别代入滤波器设计中进行比较。实验结果表明,该方法在一定程度上能够有效地增加带外抑制,对过渡带抑制能力有2~4 dB的提升,且具有设计简便,占用空间小等优点。 展开更多
关键词 声表面波(SAW) 窄带 谐振器 带外抑制 压电材料
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