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正入射多层膜X光成像显微镜的发展
被引量:
1
1
作者
shea.
,
dl
钱龙生
《光机情报》
1990年第5期9-14,共6页
关键词
多层膜
X光显微镜
显微镜
在线阅读
下载PDF
职称材料
非球面多层膜成像X射线显微镜的设计和分析
2
作者
李士范
shea.
,
dl
《光机情报》
1992年第4期1-6,69,共7页
关键词
非球面
X射线
显微镜
设计
分析
在线阅读
下载PDF
职称材料
X射线投影光刻系统设计研究
3
作者
shea.
,
dl
王占山
《光机电世界》
1993年第3期17-24,共8页
关键词
微电子学
X射线光刻
光刻系统
设计
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
正入射多层膜X光成像显微镜的发展
被引量:
1
1
作者
shea.
,
dl
钱龙生
出处
《光机情报》
1990年第5期9-14,共6页
关键词
多层膜
X光显微镜
显微镜
分类号
TH742.63 [机械工程—光学工程]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
非球面多层膜成像X射线显微镜的设计和分析
2
作者
李士范
shea.
,
dl
出处
《光机情报》
1992年第4期1-6,69,共7页
关键词
非球面
X射线
显微镜
设计
分析
分类号
TH742.63 [机械工程—光学工程]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
X射线投影光刻系统设计研究
3
作者
shea.
,
dl
王占山
出处
《光机电世界》
1993年第3期17-24,共8页
关键词
微电子学
X射线光刻
光刻系统
设计
分类号
TN405.7 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
正入射多层膜X光成像显微镜的发展
shea.
,
dl
钱龙生
《光机情报》
1990
1
在线阅读
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职称材料
2
非球面多层膜成像X射线显微镜的设计和分析
李士范
shea.
,
dl
《光机情报》
1992
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
X射线投影光刻系统设计研究
shea.
,
dl
王占山
《光机电世界》
1993
0
在线阅读
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职称材料
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