基于绝缘体上硅(Silicon On Insulator,SOI)工艺的静电驱动微镜普遍存在工艺步骤复杂、制造成本高及设计自由度受限等挑战。为此,提出一种基于硅-玻璃键合(Spin On Glass,SOG)不等高工艺的小型化MEMS静电驱动微镜。该设计采用双层掩膜...基于绝缘体上硅(Silicon On Insulator,SOI)工艺的静电驱动微镜普遍存在工艺步骤复杂、制造成本高及设计自由度受限等挑战。为此,提出一种基于硅-玻璃键合(Spin On Glass,SOG)不等高工艺的小型化MEMS静电驱动微镜。该设计采用双层掩膜与分步刻蚀技术,制备出具有高度差的垂直梳齿结构,实现了有效的垂直方向静电驱动。所研制的微镜芯片尺寸仅为1.7 mm×1.7 mm,反射镜面直径为0.82 mm,厚度为450μm,结构紧凑且工艺兼容性好。实验测试表明,在10 V驱动电压下,微镜可实现0.52°的机械偏转角,响应时间约为14 ms。所采用的硅-玻璃键合不等高工艺在显著简化制造流程、降低生产成本的同时,仍能保证器件性能,为严格限制功耗与尺寸的光通信系统提供了一种高效的技术方案。展开更多
目的分别探究焦虑、抑郁、神经质等3种负面情绪与复发性流产之间的因果关系。方法利用全基因组关联研究数据提取与焦虑、抑郁、神经质密切相关的遗传位点作为工具变量,分别利用逆方差加权法、加权中位数法、加权众数法及MR-Egger回归法...目的分别探究焦虑、抑郁、神经质等3种负面情绪与复发性流产之间的因果关系。方法利用全基因组关联研究数据提取与焦虑、抑郁、神经质密切相关的遗传位点作为工具变量,分别利用逆方差加权法、加权中位数法、加权众数法及MR-Egger回归法进行孟德尔随机化分析,评价焦虑、抑郁、神经质与复发性流产之间的因果效应,并进行异质性、基因多效性与敏感性分析。结果从全基因组关联研究(genome-wide association study,GWAS)数据中提取共46个SNPs作为工具变量(焦虑数据5个,抑郁数据9个,神经质数据32个),经逆方差加权法、加权中位数法、加权众数法及MR-Egger回归法计算OR值与95%CI,焦虑数据结果分别为1.07(0.86~1.32)、1.10(0.85~1.43)、1.14(0.81~1.59)、1.18(0.53~2.61),抑郁数据结果分别为1.11(0.93~1.32)、1.05(0.83~1.32)、0.96(0.67~1.38)、0.57(0.25~1.31),神经质数据结果分别为1.01(0.75~1.36)、1.07(0.73~1.56)、1.02(0.49~2.12)、2.40(0.46~12.44),上述因果分析均无统计学意义(P均>0.05);经可靠性分析,异质性评价Cochran’sQ检验差异不具有显著性(P均>0.05),基因多效性评价MR-Egger回归截距均接近于0(P均>0.05),敏感性评价留一法检验后合并因果效应值相近。结论焦虑、抑郁、神经质与复发性流产之间不存在因果关联,可靠性检验提示结果相对稳健。展开更多
文摘基于绝缘体上硅(Silicon On Insulator,SOI)工艺的静电驱动微镜普遍存在工艺步骤复杂、制造成本高及设计自由度受限等挑战。为此,提出一种基于硅-玻璃键合(Spin On Glass,SOG)不等高工艺的小型化MEMS静电驱动微镜。该设计采用双层掩膜与分步刻蚀技术,制备出具有高度差的垂直梳齿结构,实现了有效的垂直方向静电驱动。所研制的微镜芯片尺寸仅为1.7 mm×1.7 mm,反射镜面直径为0.82 mm,厚度为450μm,结构紧凑且工艺兼容性好。实验测试表明,在10 V驱动电压下,微镜可实现0.52°的机械偏转角,响应时间约为14 ms。所采用的硅-玻璃键合不等高工艺在显著简化制造流程、降低生产成本的同时,仍能保证器件性能,为严格限制功耗与尺寸的光通信系统提供了一种高效的技术方案。
文摘目的分别探究焦虑、抑郁、神经质等3种负面情绪与复发性流产之间的因果关系。方法利用全基因组关联研究数据提取与焦虑、抑郁、神经质密切相关的遗传位点作为工具变量,分别利用逆方差加权法、加权中位数法、加权众数法及MR-Egger回归法进行孟德尔随机化分析,评价焦虑、抑郁、神经质与复发性流产之间的因果效应,并进行异质性、基因多效性与敏感性分析。结果从全基因组关联研究(genome-wide association study,GWAS)数据中提取共46个SNPs作为工具变量(焦虑数据5个,抑郁数据9个,神经质数据32个),经逆方差加权法、加权中位数法、加权众数法及MR-Egger回归法计算OR值与95%CI,焦虑数据结果分别为1.07(0.86~1.32)、1.10(0.85~1.43)、1.14(0.81~1.59)、1.18(0.53~2.61),抑郁数据结果分别为1.11(0.93~1.32)、1.05(0.83~1.32)、0.96(0.67~1.38)、0.57(0.25~1.31),神经质数据结果分别为1.01(0.75~1.36)、1.07(0.73~1.56)、1.02(0.49~2.12)、2.40(0.46~12.44),上述因果分析均无统计学意义(P均>0.05);经可靠性分析,异质性评价Cochran’sQ检验差异不具有显著性(P均>0.05),基因多效性评价MR-Egger回归截距均接近于0(P均>0.05),敏感性评价留一法检验后合并因果效应值相近。结论焦虑、抑郁、神经质与复发性流产之间不存在因果关联,可靠性检验提示结果相对稳健。
