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Ti合金化DLC膜的结构和力学性能 被引量：5
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作者 江晓红 陆小华 +1 位作者 rogachev a.v 金元生 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期771-776,共6页
在一台-1型双激发源等离子弧薄膜沉积装置上制取Ti合金化DLC膜,用纳米硬度计、显微硬度计、原子力显微镜以及X射线衍射仪和光电子能谱仪等手段对薄膜的力学性能和结构进行了分析和测定.摩擦磨损试验在一台球-盘滑动磨损试验机上进行.比... 在一台-1型双激发源等离子弧薄膜沉积装置上制取Ti合金化DLC膜,用纳米硬度计、显微硬度计、原子力显微镜以及X射线衍射仪和光电子能谱仪等手段对薄膜的力学性能和结构进行了分析和测定.摩擦磨损试验在一台球-盘滑动磨损试验机上进行.比较了不同钛合金化程度的DLC膜及热处理前后的性能变化.结果表明,薄膜的力学性能与Ti含量有非单值关系,但摩擦系数随Ti含量增加而升高;热处理后薄膜显微硬度显著升高的原因是生成了碳化钛硬化相. 展开更多
关键词 TI 合金化 DLC膜 结构 力学性能 薄膜沉积 钛 类金刚石膜 脉冲等离子体 离子弧
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