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MMST设备控制的体系和概述
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作者 richardbeaver 肖汉武 《微电子技术》 1995年第3期111-117,共7页
本文介绍了MMST设备控制体系的组成结构，开发出的这一体系可以快速装备到目前所使用的硅片制造设备中，同时还考虑了完全倒置的设备控制软件的应用。MMST设备控制体系是为适应目前尚在半导体设备制造商开发之中的下一代真空处理集群设... 本文介绍了MMST设备控制体系的组成结构，开发出的这一体系可以快速装备到目前所使用的硅片制造设备中，同时还考虑了完全倒置的设备控制软件的应用。MMST设备控制体系是为适应目前尚在半导体设备制造商开发之中的下一代真空处理集群设备所需要而特别设计的。它为设备用户提供了基于窗口的图形控制面板。 展开更多
关键词 MMST 设备控制 体系 概述
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