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激光薄膜特性参数测试方法标准化进展(特邀)
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作者 李斌成 王静 ristau detlev 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第9期32-41,共10页
综述了近年来激光薄膜元件反射率/透过率、吸收损耗、散射损耗和激光损伤阈值等主要性能参数测试方法的标准化进展。重点分析了分光光度法、激光比率法和光腔衰荡法三种标准的反射率/透过率测试方法的优缺点,指出了分光光度法和光腔衰... 综述了近年来激光薄膜元件反射率/透过率、吸收损耗、散射损耗和激光损伤阈值等主要性能参数测试方法的标准化进展。重点分析了分光光度法、激光比率法和光腔衰荡法三种标准的反射率/透过率测试方法的优缺点,指出了分光光度法和光腔衰荡法的适用范围。分析了激光量热法测量薄膜元件吸收损耗的优点和不足,介绍了正在制定中的光热吸收测量国际标准的主要内容和进展情况,明确激光量热法主要适用于实验室薄膜元件吸收损耗绝对值的确定,而光热法更适用于大口径元件吸收损耗的确定和吸收型缺陷分布的成像测量。介绍了激光损伤阈值测试方法目前正在修订版本的主要技术内容和区别,修订后的激光损伤阈值测试方法国际标准将考虑客户的测试要求,测试结果可更满足工程应用需求。最后介绍了中国主持国际标准制定修订情况及国际标准在中国的转化情况。 展开更多
关键词 标准化 测试方法 激光损伤阈值 反射率/透过率 吸收损耗 散射损耗
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