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脉冲测量技术越过高K材料电荷捕获的壁垒
1
作者 Y.Zhao C.D.Young +1 位作者 r.choi B.H.Lee 《集成电路应用》 2006年第6期24-27,共4页
由于高介电常数的栅电路结构在俘获电荷机制上存在负面影响,常规的直流量测技术已经捉襟见肘了。脉冲电流-电压量测技术能够彻底解决这一难题,从而得到高介电常数栅电路结构晶体管的本征电学表现。
关键词 高K材料 测量技术 电荷 脉冲 高介电常数 电路结构 量测技术 电流-电压 晶体管 本征
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