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电子能量损失谱及其在纳米多层膜研究中的应用
1
作者
肖晓玲
代明江
+5 位作者
周克崧
刘敏
D.G.McCulloch
P.C.T.Ha
D.R.Mckenzie
m.m.m.bilek
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第6期540-544,共5页
本文介绍了电子能量损失谱的基本原理、能量过滤成像分析及应用电子能量损失谱计算碳同素异构体的电子密度和sp2键结构的含量。同时应用透射电镜(TEM)和电镜配置的能量过滤成像系统(gatan imaging filter),结合电子能量损失谱研究类金刚...
本文介绍了电子能量损失谱的基本原理、能量过滤成像分析及应用电子能量损失谱计算碳同素异构体的电子密度和sp2键结构的含量。同时应用透射电镜(TEM)和电镜配置的能量过滤成像系统(gatan imaging filter),结合电子能量损失谱研究类金刚石(a-C/Ta-C)和Al/AlN两种纳米多层膜的形态、结构和膜中各元素的分布。结果显示透射电镜观察配合电子能量损失谱在纳米多层膜表征中将会扮演一个重要角色。
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关键词
电子能量损失谱
透射电镜
纳米多层膜
a-C/Ta-C
Al/AlN
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职称材料
题名
电子能量损失谱及其在纳米多层膜研究中的应用
1
作者
肖晓玲
代明江
周克崧
刘敏
D.G.McCulloch
P.C.T.Ha
D.R.Mckenzie
m.m.m.bilek
机构
广州有色金属研究院材料表面工程研究所
Applied Physics
Applied and Plasma Physics
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第6期540-544,共5页
文摘
本文介绍了电子能量损失谱的基本原理、能量过滤成像分析及应用电子能量损失谱计算碳同素异构体的电子密度和sp2键结构的含量。同时应用透射电镜(TEM)和电镜配置的能量过滤成像系统(gatan imaging filter),结合电子能量损失谱研究类金刚石(a-C/Ta-C)和Al/AlN两种纳米多层膜的形态、结构和膜中各元素的分布。结果显示透射电镜观察配合电子能量损失谱在纳米多层膜表征中将会扮演一个重要角色。
关键词
电子能量损失谱
透射电镜
纳米多层膜
a-C/Ta-C
Al/AlN
Keywords
Electron energy loss spectrum, TEM, Nano-multilayer, A-C/Ta-C, Al/AlN
分类号
TN06 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
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1
电子能量损失谱及其在纳米多层膜研究中的应用
肖晓玲
代明江
周克崧
刘敏
D.G.McCulloch
P.C.T.Ha
D.R.Mckenzie
m.m.m.bilek
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
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