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喷雾式涂胶的新应用 被引量：5
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作者 C. Brubaker m. wimplinger +3 位作者 P. Lindner P. Kettner S. Pargfrieder 高仰月 《电子工业专用设备》 2005年第9期52-55,共4页
介绍了喷雾式涂胶(SprayCoating)的多种新应用。在形貌起伏很大的表面均匀地涂布光刻胶(抗蚀剂)是一项非常有挑战性的工作,喷雾式涂胶正是为了满足这个挑战而开发的。实践证明,与传统的旋涂技术相比,喷雾式涂胶可以在保持光刻胶均匀性... 介绍了喷雾式涂胶(SprayCoating)的多种新应用。在形貌起伏很大的表面均匀地涂布光刻胶(抗蚀剂)是一项非常有挑战性的工作,喷雾式涂胶正是为了满足这个挑战而开发的。实践证明,与传统的旋涂技术相比,喷雾式涂胶可以在保持光刻胶均匀性良好的同时显著地节约光刻胶的用量。已经发现此技术可用于非圆形基片和多件基片同时涂布。此外,此技术也可以为脆弱的结构提供保护性涂胶以及悬空结构的填充。 展开更多
关键词 光致抗蚀剂 喷雾 涂胶 腔 覆盖 方形基片 空中桥梁
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