期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
为何需要RTP 被引量：3
1
作者 laurapeters 张义强 《微电子技术》 1995年第6期72-74,共3页
当前，快速热处理（RTP）已成为许多先进的CMOS器件制造技术中必不可少的工艺技术。
关键词 快速热处理 RTP CMOS器件 制造
在线阅读 下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部