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在线检测与分析快速发现不可见的电学缺陷
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作者 Michael Schmidt Hyoung Kang +2 位作者 Larry Dworkin kenneth harris Sherry Lee 《集成电路应用》 2007年第11期42-44,共3页
在Fab里,在经过特别设计的短流程测试晶圆上进行的快速电学测试和自动FIB/SEM缺陷分析可以将不可见缺陷探测与分析的时间降低一个数量级,并且对不同的设计参数非常敏感,因而有足够的样本来做重要的统计评估。
关键词 缺陷探测 在线检测 电学 设计参数 缺陷分析 统计评估 FAB 数量级
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