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TiN-Ti-DLC等多层复合膜的摩擦学性能研究 被引量:4
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作者 江晓红 陆小华 +3 位作者 金元生 Rogachev A.V. kazachenko v.p. Popov A.N. 《南京工业大学学报(自然科学版)》 CAS 2003年第2期1-5,共5页
在一台УВНИПА 1型双激发源等离子弧薄膜沉积装置上制取TiN Ti DLC、及其含有软金属Cu或PTFE覆盖膜的多层复合涂层。摩擦磨损试验在一台球 盘滑动磨损试验机上进行。结果表明,以TiN和DLC膜为主体的多层复合涂层具有较高的摩擦学特... 在一台УВНИПА 1型双激发源等离子弧薄膜沉积装置上制取TiN Ti DLC、及其含有软金属Cu或PTFE覆盖膜的多层复合涂层。摩擦磨损试验在一台球 盘滑动磨损试验机上进行。结果表明,以TiN和DLC膜为主体的多层复合涂层具有较高的摩擦学特性,过渡金属钛层、软金属和聚四氟乙烯覆盖层可以降低摩擦系数33%~50%,对磨擦表面磨损减少90%。 展开更多
关键词 TiN DLC膜 复合涂层 摩擦系数 磨损率
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