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锌掺杂半导体材料的共振电离质谱分析
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作者 彭慰先 蒋占魁 +3 位作者 郭川 Ledingham k.w.d 仇伯仓 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期16-18,共3页
本文简要地描述了激光共振电离质谱的实验装置和测量方法，给出了用共振电离质谱方法对锌掺杂化合物半导体材料进行分析的光谱和质谱图，并估计了用这种方法进行痕量分析可能达到的检测限。
关键词 半导体 锌掺杂 RIMS 光谱 质谱
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