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高氮分压对碳热还原/氮化法合成氮化硅的影响
被引量:
6
1
作者
万小涵
张广清
+2 位作者
john sharp
Oleg Ostrovski
俞乐
《有色金属工程》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第4期9-12,共4页
碳热还原/氮化合成氮化硅在1450-1650℃、氮气分压700-1100kPa下进行。非晶二氧化硅与石墨粉末以n(C)/n(SiO2)=4.5比率混合、压片。样品中的氧、氮、碳含量通过LECO元素分析仪测得。反应物和生成物中各物质组成通过XRD定性分析。结...
碳热还原/氮化合成氮化硅在1450-1650℃、氮气分压700-1100kPa下进行。非晶二氧化硅与石墨粉末以n(C)/n(SiO2)=4.5比率混合、压片。样品中的氧、氮、碳含量通过LECO元素分析仪测得。反应物和生成物中各物质组成通过XRD定性分析。结果表明,通过增加氮气分压,氮化硅的稳定温度升高,二氧化硅的还原速率随着温度升高而变大。碳化硅的生成仍无法避免。与常压下的碳热还原/氮化反应一致,高压下的碳化硅和氮化硅的生成亦为连续反应。
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关键词
高压
Si3N4稳定性
连续反应
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职称材料
题名
高氮分压对碳热还原/氮化法合成氮化硅的影响
被引量:
6
1
作者
万小涵
张广清
john sharp
Oleg Ostrovski
俞乐
机构
澳大利亚新南威尔士大学材料科学与工程学院
澳大利亚卧龙岗大学机械材料与机电一体化学院
出处
《有色金属工程》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第4期9-12,共4页
文摘
碳热还原/氮化合成氮化硅在1450-1650℃、氮气分压700-1100kPa下进行。非晶二氧化硅与石墨粉末以n(C)/n(SiO2)=4.5比率混合、压片。样品中的氧、氮、碳含量通过LECO元素分析仪测得。反应物和生成物中各物质组成通过XRD定性分析。结果表明,通过增加氮气分压,氮化硅的稳定温度升高,二氧化硅的还原速率随着温度升高而变大。碳化硅的生成仍无法避免。与常压下的碳热还原/氮化反应一致,高压下的碳化硅和氮化硅的生成亦为连续反应。
关键词
高压
Si3N4稳定性
连续反应
Keywords
elevated nitrogen pressure
Si3N4 stability
series reaction
分类号
TM286 [一般工业技术—材料科学与工程]
TF123.3 [冶金工程—粉末冶金]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高氮分压对碳热还原/氮化法合成氮化硅的影响
万小涵
张广清
john sharp
Oleg Ostrovski
俞乐
《有色金属工程》
CAS
CSCD
北大核心
2015
6
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