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气体脱附机理的物理解释
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作者 g.horikoshi 孙大明 汪德全 《真空与低温》 1989年第4期32-39,共8页
采用一组新的方程来分析抽气过程。这个方程基于气体分子在不均匀的金属表面上所取位置的吸附与脱附的表面,而不是扩散过程。分析脱附位置、脱附率和气体脱附的来源.认为气体脱附现象必须理解为非平衡和非稳定过程。
关键词 脱附 吸附 气体 真空效应
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