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容性耦合射频(CCRF)放电等离子体特性实验研究被引量：6: 1; 作者黄建军刘正之 +1 位作者梁荣庆 d.teuner 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期408-411,共4页; 利用自行研制的传感器和测量装置 ,通过对射频放电电压电流以及其相位角的测定 ,算出放电管的总阻抗 ,结合放电管的等效电路 ,对容性耦合射频 (CCRF)激励激光器放电特性进行研究 ,得出容性耦合射频激励激光器等离子体的伏安特性的曲线 ... 展开更多; 关键词容性耦合射频放电等离子体实验研究等效电路模型放电特性; 在线阅读下载PDF 职称材料

射频气体放电激励电压电流及相位传感器的研制被引量：2: 2; 作者黄建军余建华 d.teuner 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2000年第11期1-2,8,共3页; 由于分布电容的存在而造成对测量仪器的干扰 ,使得对射频放电电压电流及相位的测量 ,到目前为止仍然是比较困难和昂贵的 ;使用简单的电压电流探头而无干扰地精确地测量出电压、电流和相位角 ,从而计算出复合阻抗几乎是不可能的。这里介... 展开更多; 关键词 RF放电传感器电压电流相位角; 在线阅读下载PDF 职称材料

射频放电电参数的测量被引量：1: 3; 作者黄建军余建华 d.teuner 《电测与仪表》北大核心 2000年第9期25-27,共3页; 通过自行研制的传感器，结合网络分析理论，采用数字与计算机技术实现对射频放电电压、电流、相位及功率的测量，除可广泛应用于射频放电的电压、电流、相位及功率测量外，还可对射频放电负载特性及等离子体的伏安特性进行研究与分析。; 关键词电压电流相位角射频放电测量; 在线阅读下载PDF 职称材料

射频放电激励激光器阻抗特性实验研究被引量：1: 4; 作者黄建军余建华 d.teuner 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2000年第6期15-16,共2页; 利用自行研制的传感器〔1〕,通过对射频放电电压电流以及其相位角的精确测定 ,结合放电管的等效电路 ,对内置电极射频气体放电激励激光器阻抗特性进行研究 ,得出内置电极射频气体放电激励激光器等离子体的伏安特性曲线 ,以及等离子体电... 展开更多; 关键词阻抗特性射频放电激励激光器实验; 在线阅读下载PDF 职称材料

射频放电阻抗测量用于等离子体诊断研究被引量：9: 5; 作者黄建军余建华 d.teuner 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第12期2403-2407,共5页; 利用自行研制的传感器和测量装置 ,通过对射频放电电压、电流以及其相位角的精确测定 ,算出放电管的总阻抗 ,结合放电管的等效电路模型与Godyak等建立的射频放电模型 ,对射频激励铜离子激光管在氦气中的放电特性进行了研究 ,得出射频激... 展开更多; 关键词射频放电阻抗测量等离子体诊断电阻容抗电子密度; 原文传递

射频激励的铜和金离子激光器中等离子体特性的实验研究: 6; 作者黄建军刘正之 +1 位作者梁荣庆 d.teuner 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期120-122,共3页; 通过对射频 (RF)放电电压电流以及其相位角的精确测定 ,结合射频放电的物理模型与等效电路 ,对金属铜和金电极He气中的射频放电进行实验研究 ,得出射频放电溅射型铜和金离子等离子体电阻、容抗、鞘层厚度与电流密度的关系 ;在Goydak模... 展开更多; 关键词等离子体物理学金属离子激光器射频溅射 Goydak模型电子密度; 原文传递

射频激励铜离子激光器阻抗特性实验研究: 7; 作者黄建军余建华 d.teuner 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期107-109,共3页; 利用自行研制的传感器和测量装置 ,通过对射频放电电压电流以及其相位角的测定 ,结合放电管的等效电路 ,对射频激励激光器阻抗特性进行研究 ,得出射频激励激光器等离子体的伏安特性曲线 ,以及等离子体电阻、容抗与气体压强、放电电流之... 展开更多; 关键词阻抗特性射频激励实验铜离子激光器; 原文传递

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