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直流电压下Ar气中微空心阴极类辉光放电特性
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作者 黄世龙 朱雷 +1 位作者 刘云鹏 cormac corr 《华北电力大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2021年第6期9-13,23,共6页
为研究微空心阴极放电类辉光现象,在气压100 Torr、空心半径100μm和阴极表面施加电压-600 V条件下,建立了二维轴对称流体计算模型,包括控制方程、边界条件及化学反应,并进行了数值模拟。结果表明,在类辉光放电模式下,放电电压约为-95V... 为研究微空心阴极放电类辉光现象,在气压100 Torr、空心半径100μm和阴极表面施加电压-600 V条件下,建立了二维轴对称流体计算模型,包括控制方程、边界条件及化学反应,并进行了数值模拟。结果表明,在类辉光放电模式下,放电电压约为-95V,在空心内阴极附近出现一个清晰的环形鞘层结构,鞘层厚度沿阴极外表面随着半径的增加而增加;带电粒子数密度约为10^(19) m^(-3),阴极鞘层和等离子体区域内电子温度近似约为10.2 eV和1.5 eV;基态电离和彭宁电离反应速率峰值约分别为1.2×10^(3)、2.7×10^(3) mol/(m^(3)·s);电子的整体净体积产生率约为2.4×10^(27) L/(m^(3)·s),主要产生在空心阴极区,同时在阴极侧孔外和平坦的外阴极区域鞘层边缘也有少量电子产生。 展开更多
关键词 微空心阴极 直流电压 类辉光放电 二维轴对称模型
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