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基于扩展滑模观测器惯量辨识的绞车参数自适应控制
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作者 梁红 钱仁军 +2 位作者 程勇军 胡江玉 张曼 《电气传动》 2026年第2期3-11,共9页
作为一种由电机驱动的绞车,电动绞车具有更加优异的收放缆控制性能。然而,在收放缆的过程中,电动绞车的卷筒惯量会随着缆绳存量的变化而变化。这种未知的惯量变化会导致电机转速控制参数失配,进而导致电动绞车在收缆或放缆时的控制性能... 作为一种由电机驱动的绞车,电动绞车具有更加优异的收放缆控制性能。然而,在收放缆的过程中,电动绞车的卷筒惯量会随着缆绳存量的变化而变化。这种未知的惯量变化会导致电机转速控制参数失配,进而导致电动绞车在收缆或放缆时的控制性能下降。结合系统对高精度和高转速的需求,需要一种基于惯量辨识的控制算法来满足需求。首先,根据电机的数学模型和控制系统的传递函数,分析了转动惯量对控制系统的影响。然后,提出了一种基于扩展滑模观测器的惯量辨识方法对系统的转动惯量进行实时辨识,并利用辨识结果对速度环的PI参数进行实时调整。最后,通过仿真和实验验证了所提方法的可行性和优越性。 展开更多
关键词 电动绞车 永磁同步电机 自适应控制 惯量辨识
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基于光学方法的真空计量技术研究进展 被引量:1
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作者 成永军 董猛 +3 位作者 孙雯君 贾文杰 张亚飞 冯村 《宇航计测技术》 2025年第4期1-11,共11页
国际单位制(SI)的重新定义促进真空计量体系向量子化转变,基于光学方法的真空计量技术在量限拓展及精度提升方面具有独特优势,空间探测、超精密测量与高端装备制造等高新技术领域对全新跨代真空计量新技术有广泛需求。本研究介绍了基于... 国际单位制(SI)的重新定义促进真空计量体系向量子化转变,基于光学方法的真空计量技术在量限拓展及精度提升方面具有独特优势,空间探测、超精密测量与高端装备制造等高新技术领域对全新跨代真空计量新技术有广泛需求。本研究介绍了基于光学方法测量真空参数的基本原理,系统综述了国内外基于量子理论及光学方法反演真空参数的最新研究进展,总结了目前存在的主要问题,展望了量子真空计量技术的未来发展前景。 展开更多
关键词 真空测量 量子计量 量子真空测量传感器
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量子真空测量技术研究进展
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作者 成永军 孙雯君 +2 位作者 董猛 贾文杰 范栋 《科技导报》 北大核心 2025年第12期65-79,共15页
基于光学方法的量子真空测量技术凭借其在测量量程拓展与不确定度突破方面的显著优势,成为支撑深空探测、半导体制造、新型装备研发等战略领域创新发展的关键技术。从光量子与气体分子相互作用机理出发,介绍了法布里-珀罗腔光学干涉、... 基于光学方法的量子真空测量技术凭借其在测量量程拓展与不确定度突破方面的显著优势,成为支撑深空探测、半导体制造、新型装备研发等战略领域创新发展的关键技术。从光量子与气体分子相互作用机理出发,介绍了法布里-珀罗腔光学干涉、冷原子碰撞损失、光谱吸收等量子光学方法反演真空参数的理论模型创新与实验装置突破,系统综述了国际研究机构在该领域从基础研究到工程转化的最新发展态势。深入分析揭示了现有量子真空测量技术体系存在的瓶颈问题,进而从量子真空基准构建、微型化器件集成等技术路径,展望了量子真空测量技术的演进发展方向。 展开更多
关键词 真空测量 法布里-珀罗腔 冷原子 光谱吸收 量子传感
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罗茨真空泵转子型线容积利用率的分析研究
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作者 李正清 李小金 +4 位作者 成永军 孙雯君 杨建斌 刘筱文 马凤英 《真空》 2025年第3期42-46,共5页
容积利用率是罗茨泵转子型线设计的重要内容之一。为了选取合理的转子参数及型线,使其在相同的几何抽速条件下具有长度短、体积小的优势,对容积利用率与可变参数及型线种类之间的关系进行了分析研究。结果表明:单变量转子型线的容积利... 容积利用率是罗茨泵转子型线设计的重要内容之一。为了选取合理的转子参数及型线,使其在相同的几何抽速条件下具有长度短、体积小的优势,对容积利用率与可变参数及型线种类之间的关系进行了分析研究。结果表明:单变量转子型线的容积利用率为常数;双变量和三变量转子型线的容积利用率均随着转子顶圆半径和节圆半径比值的增加而增加;顶圆半径与节圆半径之比能够取较大值时,可选用优化摆线和圆弧线转子型线,若取值较小时则优先选用渐开线转子型线;对于三变量型线,顶部椭圆转子型线容积利用率高于腰部椭圆转子型线,且椭圆偏心率对容积利用率也有影响;在给定几何抽速条件下,可设计选用较大的转子半径来减小转子的长度及容积。 展开更多
关键词 罗茨真空泵 转子型线 容积利用率 顶圆半径 节圆半径
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射频电源电参数对四极质谱计性能影响理论分析与仿真验证
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作者 李星言 成永军 +4 位作者 冯天佑 孙雯君 陈联 王星辉 赵澜 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第8期696-702,共7页
四极质谱计在各行业的需求量不断加大,中国也逐步开始高精度四极质谱计研究,因此对射频电源性能提出更高要求。基于四极电场以及电参数影响因素理论,使用离子光学仿真软件SIMION针对不同电参数对电场运动以及离子轨迹进行了建模与仿真... 四极质谱计在各行业的需求量不断加大,中国也逐步开始高精度四极质谱计研究,因此对射频电源性能提出更高要求。基于四极电场以及电参数影响因素理论,使用离子光学仿真软件SIMION针对不同电参数对电场运动以及离子轨迹进行了建模与仿真分析。仿真分析结果表明,在给定的仿真参数下,增大偏置电压可以减小离子入射能量,从而对分辨率有一定改善,但由于大质量数离子受边缘场影响更大,因此大质量数离子通过率下降明显;增大电源频率可以提高四极质谱计分辨率,但会使得仪器灵敏度变差,同时高频会使得对应电压升高,增加电源的制造难度;提高直交比会减小离子通过率,提高分辨率,但在同一直交比下由于稳定区域的非线性,使得大质量数分辨率相对小质量数会明显变差,实际生产中可能需考虑不同的直交比来达到要求。以上结果为射频电源研制与使用提供了理论支撑。 展开更多
关键词 四极滤质器 射频电源电参数 SIMION 仿真 离子通过率 分辨率
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电子轰击离子源离子聚焦性能仿真研究
6
作者 李冠华 冯焱 +5 位作者 成永军 孙雯君 陈联 冯天佑 王星辉 杨喆 《真空与低温》 2025年第2期148-155,共8页
针对兰州空间技术物理研究所自研小型四极质谱计的电子轰击离子源(EI源),对其聚焦性能进行了仿真研究。利用仿真软件Simion8.0,采用控制变量法研究了EI源聚焦极电参数、极板间距离、极板孔径大小对离子聚焦性能的影响。结果表明:聚焦极... 针对兰州空间技术物理研究所自研小型四极质谱计的电子轰击离子源(EI源),对其聚焦性能进行了仿真研究。利用仿真软件Simion8.0,采用控制变量法研究了EI源聚焦极电参数、极板间距离、极板孔径大小对离子聚焦性能的影响。结果表明:聚焦极电压与电离室电压压差越大,聚焦性能越好,当聚焦极电压增大且逐渐接近电离室电压时,其聚焦性能会快速变差;同时增大各极板间距时,离子聚焦性能先变好后变差,最佳聚焦性能出现在电离室下极板和聚焦极以及聚焦极和引出极的间距都为1.25 mm时;减小电离室下极板孔径以及引出极极板孔径时,聚焦性能会显著变好,但传输效率会明显降低,当电离室下极板和引出极极板孔径不变时,改变聚焦极极板孔径,其聚焦性能随着聚焦极极板孔径变小而变好,当聚焦极孔径为1.6 mm或2.0 mm时聚焦性能最佳。以上仿真结果为EI源的工程化设计与优化提供了关键数据支撑。 展开更多
关键词 EI源 数值仿真 聚焦离子束
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基于MF-Transformer的刮板输送机减速器健康状态评估方法
7
作者 赵福媛 王波 +6 位作者 苏乐 程永军 杨欢 王欢乐 赵成龙 曹现刚 鲁麒 《机械设计与研究》 北大核心 2025年第1期298-304,310,共8页
减速器作为刮板输送机的关键部件,需要对其健康状态做出及时、准确的评估。针对复杂工况下刮板输送机减速器的数据表达能力弱、健康状态评估模型准确率低等问题,提出了一种基于MF-Transformer的刮板输送机减速器健康状态评估方法。首先... 减速器作为刮板输送机的关键部件,需要对其健康状态做出及时、准确的评估。针对复杂工况下刮板输送机减速器的数据表达能力弱、健康状态评估模型准确率低等问题,提出了一种基于MF-Transformer的刮板输送机减速器健康状态评估方法。首先,根据刮板输送机减速器的结构和工作性能,结合专家经验和历史状态数据,选取能够表征刮板输送机减速器运行状态的关键监测参数,采用滑动平均法对刮板输送机减速器状态监测参数进行数据预处理;其次,运用扩展卡尔曼滤波器构建刮板输送机减速器的健康状态评估指标,划分刮板输送机减速器的健康状态等级;然后,通过格拉姆角场、马尔可夫转移场和递归图的图像编码方法将一维数据表征为二维图像特征,并将多图特征融合输入Transformer模型,构建刮板输送机减速器的健康状态评估体系;最后,实验结果表明:MF-Transformer方法与回溯搜索算法优化支持向量机、XGBoost和CNN-XGBoost方法相比,评估准确率平均提高了2.58%~9.71%,特异度平均提高了3.23%~5.19%,查准率平均提高了5.29%~16.03%,召回率平均提高了5.38%~22.50%,调和平均数平均提高了6.23%~19.87%,该方法具有较好的评估性能。 展开更多
关键词 刮板输送机减速器 多图特征 TRANSFORMER 健康等级划分 健康状态评估
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真空测试计量技术及其航天应用 被引量:11
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作者 李得天 习振华 +7 位作者 王永军 成永军 郭宁 王鹢 秦晓刚 张虎忠 李刚 赵呈选 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第9期795-816,共22页
真空测试计量技术是确保载人航天、探月工程、北斗导航等重大航天工程顺利实施的重要基础。围绕计量发展和航天发展建设对真空测试计量提出的新任务、新要求,真空测试计量发展在深度、广度及维度上表现出强劲的态势。近年来,围绕国家重... 真空测试计量技术是确保载人航天、探月工程、北斗导航等重大航天工程顺利实施的重要基础。围绕计量发展和航天发展建设对真空测试计量提出的新任务、新要求,真空测试计量发展在深度、广度及维度上表现出强劲的态势。近年来,围绕国家重大战略需求,瞄准真空测试计量技术核心科学问题,开展了面向航天应用的真空测试计量原始创新研究,实现了由真空中性气体测试计量向空间电推进真空等离子体测试、卫星充放电真空模拟测试、真空环境下空间计量等交叉领域的拓展,并在月球样品采样、飞船交会对接、空间守时原子钟研制、卫星平台升级换代、卫星安全防护等应用中发挥了至关重要的作用。 展开更多
关键词 真空测量 真空计量标准 真空等离子体测试 充放电真空模拟测试 真空环境下空间计量
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快速动态真空校准装置的研制 被引量:4
9
作者 习振华 李得天 +2 位作者 成永军 孙雯君 李亚丽 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期43-53,共11页
快速动态真空校准装置由校准系统、高速数据采集与控制系统、抽气系统、烘烤系统、供气系统5个部分组成。采用快开超高真空插板阀与不同几何尺寸限流元件的组合实现标准压力建立时间在18.12~658.13 ms范围的调整,采用容积比为1 573.9的... 快速动态真空校准装置由校准系统、高速数据采集与控制系统、抽气系统、烘烤系统、供气系统5个部分组成。采用快开超高真空插板阀与不同几何尺寸限流元件的组合实现标准压力建立时间在18.12~658.13 ms范围的调整,采用容积比为1 573.9的下游室与上游室实现动态真空1 000倍以上的阶跃。通过ms量级稀薄气体快速膨胀过程数值仿真获得了快开阀与限流元件不同流态下随时间的流导函数,并采用动态响应特性经过优化的电容薄膜真空计(响应时间1.07 ms)实验验证,快速动态真空校准装置校准范围10^-1~10^5Pa,合成标准不确定度为14%。 展开更多
关键词 真空计量 动态真空 时间常数 响应时间
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毫秒量级快速动态真空校准稀薄气体非定常流动研究 被引量:2
10
作者 陈叔平 汪乘红 +3 位作者 成永军 习振华 孙雯君 刘丹 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第8期659-666,共8页
对毫秒量级快速动态真空标准压力建立过程进行分析,获得了经实际气体特性和温度变化修正的动态真空标准压力理论模型,分析表明:上游室压力呈指数规律衰减,快速开合超高真空插板阀打开时间和限流小孔流导值是决定标准压力建立时间的关键... 对毫秒量级快速动态真空标准压力建立过程进行分析,获得了经实际气体特性和温度变化修正的动态真空标准压力理论模型,分析表明:上游室压力呈指数规律衰减,快速开合超高真空插板阀打开时间和限流小孔流导值是决定标准压力建立时间的关键因素。此外,在阻塞流态下,对气体膨胀过程进行数值模拟,并做了实验验证。结果表明:上游室压力均匀变化,意味着被校真空计安装位置不会影响校准结果;上游室温度下降呈现出较大梯度,实验测量时应将热电偶尽量布置在上游室中心位置;理论和模拟压力与实测压力最大不确定度分别为10%和4.65%,表明该校准系统能够在毫秒量级的时间内产生可以预测的压力变化;实际气体特性修正因子值为1,可忽略其对标准压力建立的影响;限流小孔流导最大和最小值相差0.8,证明了推导标准压力模型时假设小孔流导为定值的合理性。 展开更多
关键词 非定常流动 动态真空校准 快速膨胀 稀薄气体 阻塞流
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不同参数四极杆组件宽质量范围性能仿真 被引量:2
11
作者 冯天佑 成永军 +4 位作者 陈联 董猛 赵澜 王星辉 孙雯君 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第12期1003-1011,共9页
四极质谱计应用需求的不断扩大对四极杆组件需求量迅速增加,为满足大批量、通用化要求需研发几种固定尺寸的模块化四极杆组件,再设计不同的射频电源来满足应用需求。基于四极电场和离子运动理论,使用离子光学仿真软件SIMION对电场分布... 四极质谱计应用需求的不断扩大对四极杆组件需求量迅速增加,为满足大批量、通用化要求需研发几种固定尺寸的模块化四极杆组件,再设计不同的射频电源来满足应用需求。基于四极电场和离子运动理论,使用离子光学仿真软件SIMION对电场分布和离子运动轨迹进行了建模和计算分析。仿真分析结果表明,在所选定仿真参数下,场半径主要决定大质荷比离子通过率曲线形状,其对不同质荷比离子通过率影响不同,对分辨率的影响随质荷比增大而减小;质荷比越小,离子稳定分离所需杆长越长,达到所需杆长前,离子通过率随杆长增加而减小,分辨率相反;直交比的增加会减小通过率、提高分辨率,对大质荷比段影响更大;频率的增加在全质荷比提高分辨率,增加低质荷比通过率,但显著降低大质荷比通过率;大尺寸杆特别适用于低质荷比离子分析,用于大质荷比时必须采取降低边缘场影响的措施。研究结果可为不同应用目的四极质谱计的设计提供参考。 展开更多
关键词 四极杆组件 宽质荷比范围 离子通过率 分辨率 SIMION
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电压不稳定性对离子阱中离子运动特征的影响 被引量:2
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作者 李刚 李得天 +6 位作者 成永军 裴晓强 王永军 张虎忠 董猛 孙健 张琦 《质谱学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第1期1-9,共9页
在离子阱共振激发过程中,电压的微小变化可能导致离子的运动特征发生显著改变。本工作基于赝势理论,建立了电压不稳定时3D离子阱中离子运动的理论模型,并以辅助交流电压AC的毛刺和端盖电极施加的直流电压为例,揭示端盖电极上辅助交流电... 在离子阱共振激发过程中,电压的微小变化可能导致离子的运动特征发生显著改变。本工作基于赝势理论,建立了电压不稳定时3D离子阱中离子运动的理论模型,并以辅助交流电压AC的毛刺和端盖电极施加的直流电压为例,揭示端盖电极上辅助交流电压AC的稳定性对离子阱性能的影响。结果表明,当辅助交流电压存在毛刺时,离子的运动速度和振幅将发生突变,扰乱离子阱内离子的冷却状态,致使部分离子在激发阶段打在阱壁上而无法被检测,从而降低了离子阱质谱仪的灵敏度。同时,该模型表明,对于处于冷却状态的离子,可以通过测量其在脉冲激励作用下的响应来测量离子运动的久期频率。若在端盖电极上施加直流电压,离子运动的平衡位置将发生明显的偏移,通过将离子检测器置于偏移的一侧,可以明显地提高离子的检测效率,从而提高离子阱质谱仪的灵敏度。 展开更多
关键词 理论模型 电压稳定性 离子阱 离子运动特征
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真空条件下氧化铂吸氢特性与微观结构研究 被引量:2
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作者 陈叔平 白彪坤 +4 位作者 成永军 孙雯君 陈联 金树峰 史庆智 《低温工程》 CAS CSCD 北大核心 2020年第6期26-32,共7页
为探究氧化铂(PtO2)作为吸附剂在低温容器夹层的吸氢特性,采用静态膨胀法获得了PtO2、PdO、Ag2O及5A分子筛对氢气的吸附等温线,通过比较4种吸附剂对氢气的吸附性能,研究了氧化铂吸附氢气的机理,提出了常用吸附剂PdO配置PtO2、Ag2O的组... 为探究氧化铂(PtO2)作为吸附剂在低温容器夹层的吸氢特性,采用静态膨胀法获得了PtO2、PdO、Ag2O及5A分子筛对氢气的吸附等温线,通过比较4种吸附剂对氢气的吸附性能,研究了氧化铂吸附氢气的机理,提出了常用吸附剂PdO配置PtO2、Ag2O的组合吸附剂。此外,利用BET理论、t-Plot法、BJH法分析了氧化铂的孔隙结构信息,为氧化铂在低温容器中的应用提供了理论支撑。结果表明:PdO在较宽平衡压力范围内吸氢性能优异,吸附量能达到1.7×10^4 Pa·L/g;PtO2在平衡压力大于10^ Pa后对氢气的吸附作用较强;Ag2O在平衡压力低于3×10^-1Pa时吸氢量大于PtO2,在2×10^-2Pa左右时吸附性能甚至与PdO相当。低温容器常用吸附剂PdO中按比例配置PtO2、Ag2O形成组合吸附剂,在不整体降低吸附性能的同时,可以较大幅度减少吸附剂费用,提高经济性。PtO2的总孔容积、比表面积、微孔容积、微孔比表面积均大于PdO,孔结构方面的优势使得PtO2能够提供更大的吸附和反应场所。 展开更多
关键词 低温容器 吸附剂 吸附等温线 孔隙结构
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计量级磁悬浮转子真空计技术研究 被引量:4
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作者 习振华 郭美如 +7 位作者 李博文 周明旭 李宇 贾文杰 张虎忠 任正宜 成永军 李得天 《真空与低温》 2022年第4期409-419,共11页
磁悬浮转子真空计为国际公认的高真空范围溯源/传递标准,因其优良的计量特性和化学惰性,广泛应用于航空航天、核工业、半导体和高端装备制造等领域。针对高真空范围传递标准国产化需求,开展了永磁偏置转子稳定悬浮、转子轴向位移精确测... 磁悬浮转子真空计为国际公认的高真空范围溯源/传递标准,因其优良的计量特性和化学惰性,广泛应用于航空航天、核工业、半导体和高端装备制造等领域。针对高真空范围传递标准国产化需求,开展了永磁偏置转子稳定悬浮、转子轴向位移精确测量、转子转速衰减速率动力学模型构建及高精度检测等关键技术研究,为计量级磁悬浮转子真空计研制、实现高真空范围真空量值溯源/传递国际等效,进而建立我国现代先进的真空计量技术体系奠定基础。 展开更多
关键词 磁悬浮转子 真空计量 传递标准 黏滞型真空计
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差压式MEMS电容薄膜真空规的设计与测试 被引量:6
15
作者 李刚 韩晓东 +5 位作者 李得天 成永军 孙雯君 柯鑫 冯勇建 许马会 《真空与低温》 2020年第1期17-20,共4页
提出了一种基于MEMS技术的差压式电容薄膜真空规设计方案。通过有限元分析软件建立了仿真模型,对感压薄膜尺寸和电极间距离进行了优化。根据优化结果,完成了真空规的研制和性能测试。测试结果表明,测量范围下限5 Pa,上限1000 Pa,灵敏度... 提出了一种基于MEMS技术的差压式电容薄膜真空规设计方案。通过有限元分析软件建立了仿真模型,对感压薄膜尺寸和电极间距离进行了优化。根据优化结果,完成了真空规的研制和性能测试。测试结果表明,测量范围下限5 Pa,上限1000 Pa,灵敏度优于10 fF/Pa,测试曲线可以实现分段线性。 展开更多
关键词 MEMS技术 差压式 电容薄膜真空规
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10^(-9)~10^(-1)Pa宽量程电离真空计研制与性能研究 被引量:3
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作者 张虎忠 葛金国 +7 位作者 姚鹏 魏建平 成永军 孙雯君 习振华 马卓娅 马亚芳 李得天 《真空与低温》 2022年第4期392-396,共5页
热阴极电离真空计的压力测量范围可覆盖超高真空、高真空和中低真空,该真空计广泛应用于各类真空装备。依据电离真空计工作原理,对电离真空计的本底干扰离子流I_(r)^(+)进行了理论分析,讨论了气体分子热脱附、软X射线效应、ESD效应等多... 热阴极电离真空计的压力测量范围可覆盖超高真空、高真空和中低真空,该真空计广泛应用于各类真空装备。依据电离真空计工作原理,对电离真空计的本底干扰离子流I_(r)^(+)进行了理论分析,讨论了气体分子热脱附、软X射线效应、ESD效应等多个因素对I_(r)^(+)的影响,优化了规管尺寸和制备工艺,研制了真空规管,将本底干扰降低到2×10^(-9)Pa以下,并研制了配套的电控单元,使微弱离子流测量下限达到0.1 pA量级。该宽量程电离真空计产品的实测范围达到1.26×10^(-9)~6.02×10^(-1)Pa,灵敏度波动小于±11%。 展开更多
关键词 超高真空 真空测量 电离真空计 宽量程 灵敏度
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橡胶密封对氦质谱真空压力法检漏的影响分析及试验验证 被引量:3
17
作者 丁栋 成永军 +2 位作者 陈联 赵澜 孙冬花 《真空与低温》 2020年第2期114-119,共6页
航天产品一般采用橡胶O型圈作为密封材料,由于橡胶O型圈易受温度、介质气体种类、压紧力等多种因素影响,从而影响航天产品工作过程中的实际漏率。介绍了航天产品漏率的影响机制,氦质谱真空压力检漏方法,重点介绍了气体渗透、压紧力、工... 航天产品一般采用橡胶O型圈作为密封材料,由于橡胶O型圈易受温度、介质气体种类、压紧力等多种因素影响,从而影响航天产品工作过程中的实际漏率。介绍了航天产品漏率的影响机制,氦质谱真空压力检漏方法,重点介绍了气体渗透、压紧力、工作温度以及充气压力对使用橡胶密封材料的航天产品漏率的影响,并进行了测试及分析。结果表明,渗透性、工作温度、充气压力是影响航天产品漏率的主要因素。 展开更多
关键词 橡胶密封 氦质谱真空压力法 分析 试验
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微型溅射离子泵极小抽速精确测量的意义和难点 被引量:3
18
作者 郭美如 成永军 +7 位作者 孙雯君 任正宜 陈江 王佐磊 董猛 吴成耀 李海涛 耿健 《真空与低温》 2020年第1期42-47,共6页
抽速小于10-4 m^ 3/s量级的微型溅射离子泵在航天载荷产品、电子器件、科学仪器领域应用广泛,现有的抽速测量方法都大于10-2 m^3/s量级,无法解决极小抽速精确测量的急需。制约抽速测量的主要原因是测量用电离真空计本身的抽速在10-5~10-... 抽速小于10-4 m^ 3/s量级的微型溅射离子泵在航天载荷产品、电子器件、科学仪器领域应用广泛,现有的抽速测量方法都大于10-2 m^3/s量级,无法解决极小抽速精确测量的急需。制约抽速测量的主要原因是测量用电离真空计本身的抽速在10-5~10-4 m ^3/s量级,与被测微型真空泵抽速在同一数量级,以及现有测量方法无法适用于极小抽速的测量。在论述微型溅射离子泵极小抽速测量的重要意义及分析其难点的基础上,调研了极小抽速测量研究的最新进展,提出了极小抽速测量的构想,期望能为实现微型溅射离子泵极小抽速的精确测量提供帮助。 展开更多
关键词 微型溅射离子泵 极小抽速 精确测量
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真空计动态响应特性实验研究 被引量:3
19
作者 习振华 李亚丽 +2 位作者 成永军 孙雯君 李得天 《真空与低温》 2020年第1期25-30,共6页
在工业应用中,为精确监测生产过程,真空计在极短的时间内(1 s或更短)对压力的快速变化做出响应的能力是至关重要的。采用兰州空间技术物理研究所自主研发的快速动态真空校准装置,研究了四种电容薄膜真空计和一种皮拉尼真空计的动态响应... 在工业应用中,为精确监测生产过程,真空计在极短的时间内(1 s或更短)对压力的快速变化做出响应的能力是至关重要的。采用兰州空间技术物理研究所自主研发的快速动态真空校准装置,研究了四种电容薄膜真空计和一种皮拉尼真空计的动态响应特性。分析了真空计动态真空校准过程中的标准压力建立时间、时间常数和响应时间等参数。并验证了该装置的校准能力。研究结果表明,不同的真空计在毫秒量级上跟踪压力变化的能力有明显差别。研究为真空计实现通常使用条件下的动态真空溯源奠定了基础。 展开更多
关键词 真空计量 动态真空校准 响应时间 时间常数
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空间探测用线性离子阱小型化设计及仿真 被引量:2
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作者 裴晓强 成永军 +2 位作者 李亚丽 李刚 张虎忠 《真空与低温》 2020年第1期67-72,共6页
随着空间探测技术的发展,对火星、月球等星体表面土壤成分分析以及生命物质探寻已成为未来空间探测的重要目标。利用小型化质谱计原位探测外星球地表以及地下物质组成是研究的重要内容之一,NASA、ESA等都于近年来开始了离子阱质谱技术... 随着空间探测技术的发展,对火星、月球等星体表面土壤成分分析以及生命物质探寻已成为未来空间探测的重要目标。利用小型化质谱计原位探测外星球地表以及地下物质组成是研究的重要内容之一,NASA、ESA等都于近年来开始了离子阱质谱技术的研究以及空间应用。随着我国深空探测活动和空间科学实验的快速推进,对发展小型化、低质量、低功耗的离子阱质谱技术也提出了迫切需求。基于对线性离子阱的基本原理,对空间探测用小型化线性离子阱的相关参数进行设计,并利用SIMION软件进行了初步的模拟仿真和验证。结果表明,小型化后的线性离子阱能够满足基本的质谱分析要求,为空间探测用线性离子阱的研制提供了必要的设计依据。 展开更多
关键词 空间探测 线性离子阱 小型化 仿真
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