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MOCVD过程中金属有机源(C_3H_7)_2Te和(CH_3)_2Cd热裂解机理质谱实时研究
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作者 桑文斌 K.Durose +1 位作者 a.w.brinkman J.Woods 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 1997年第6期578-584,共7页
采用质谱技术实时研究了金属有机源DIPTe和DMCd在MOCVD反应器中热裂解的性质.着重分析了可能发生的气相反应及热裂解机理,并探讨了在CdTe,HgCdTe实际生长条件下两个有机源之间可能发生的相互作用及其对热裂解温度的影响.
关键词 半导体化合物 碲化镉 MOCVD 热裂解 质谱
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ZnTe MOCVD过程中金属有机源双甲基锌和双异丁基碲热裂解研究
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作者 桑文斌 K.Durose +1 位作者 a.w.brinkman J.Woods 《原子与分子物理学报》 CSCD 北大核心 1996年第4期501-507,共7页
利用与MOCVD系统相连接的四极质谱仪实时研究了金属有机源Me2Zn和Pri2Te在反应器中热裂解行为。报告了纯态Me2Zn和Pri2Te及其混合物在H2和He气氛中的热裂解实验结果,并进行了分析讨论,导出了可能发生... 利用与MOCVD系统相连接的四极质谱仪实时研究了金属有机源Me2Zn和Pri2Te在反应器中热裂解行为。报告了纯态Me2Zn和Pri2Te及其混合物在H2和He气氛中的热裂解实验结果,并进行了分析讨论,导出了可能发生的气相反应及热裂解机理。此外还探讨了Me2Zn和Pri2Te共裂解行为对ZnTe外延生长的影响。 展开更多
关键词 MOCVD 金属有机源 裂解机理 碲化锌
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