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微机械多晶硅薄膜热敏电阻特性研究 被引量：1
1
作者 胡明 杨龙 a.m.robinson 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1999年第5期420-424,共5页
将１．５ μｍ ＣＭＯＳ工艺和各向异性腐蚀工艺结合，制作出电阻温度系数为１．１×１０－ ３·°Ｃ－ １的微机械多晶硅薄膜电阻。理论分析了多晶硅薄膜结构对多晶硅薄膜电阻率的影响，对电阻样品的室温电阻、电阻温度系数。
关键词 多晶硅薄膜 微机械 热敏电阻
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多重嵌套悬臂梁结构磁致动微机械偏转器
2
作者 胡明 B.Shen +1 位作者 W.Allegretto a.m.robinson 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期122-123,117,共3页
设计并制做了一种新型多重嵌套悬臂梁结构的磁致动微机械偏转器 .偏转器由 1 2 μmCMOS工艺和各向异性腐蚀工艺制成 .致动原理是电流与磁场的相互作用在悬梁上产生罗仑兹力 .测量了偏转器的静态和动态特性 .测量结果表明 ,这种微偏转器... 设计并制做了一种新型多重嵌套悬臂梁结构的磁致动微机械偏转器 .偏转器由 1 2 μmCMOS工艺和各向异性腐蚀工艺制成 .致动原理是电流与磁场的相互作用在悬梁上产生罗仑兹力 .测量了偏转器的静态和动态特性 .测量结果表明 ,这种微偏转器的特点是可双向偏转且偏转角度大且具有快的时间响应 . 展开更多
关键词 悬臂梁 微机械 磁致动 偏转器
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恒定直流功率负荷下多晶硅微电阻电阻一时间特性测量
3
作者 胡明 a.m.robinson 《电子测量与仪器学报》 CSCD 1999年第3期24-28,共5页
利用数字式恒定功率测试系统（ＤＣＰＳ）对多晶硅微电阻进行恒定直流功率负荷下电阻随时间变化特性的测量实验。用标准ＣＭＯＳ工艺和后续的腐蚀工艺制成悬浮结构多晶硅微电阻。测试结果表明，在恒定直流功率条件下工作的微电阻的稳定... 利用数字式恒定功率测试系统（ＤＣＰＳ）对多晶硅微电阻进行恒定直流功率负荷下电阻随时间变化特性的测量实验。用标准ＣＭＯＳ工艺和后续的腐蚀工艺制成悬浮结构多晶硅微电阻。测试结果表明，在恒定直流功率条件下工作的微电阻的稳定性由临界功率Ｐ_（ｃｒｉ）值决定，当负荷于电阻上的恒定直流功率Ｐ≤Ｐ_（ｃｒｉ）时，电阻值在负荷时间内保持常量；当Ｐ＞Ｐ_（ｃｒｉ）时，电阻值随时间增加而增加。临界功率值决定于流过电阻的电流密度、电阻结构尺寸以及环境温度。计算得到多晶硅薄膜的临界电流密度为 １０~５Ａ／ｃｍ~２数量级，不同于集成电路中的多晶硅薄膜的相应数值。 展开更多
关键词 恒定功率 多晶硅微电阻 微机械传感器 临界功率
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