硅基多孔氧化铝薄膜中的裂纹 被引量：1

1

作者 濮林 朱健民 +5 位作者 吴俊辉 邹建平 周舜华 鲍希茂 李齐 冯端 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第S1期257-,共1页

我们利用硫酸阳极氧化硅基铝膜成功地制备了多孔型硅基氧化铝模板。通过HRTEM观察 ,我们发现氧化铝薄膜中主要存在 3种类型的裂纹 :界面裂纹、孔底裂纹和孔壁裂纹。其中界面裂纹呈波浪型 ,其走向平行于硅铝界面 ;而孔底裂纹则基本垂直... 我们利用硫酸阳极氧化硅基铝膜成功地制备了多孔型硅基氧化铝模板。通过HRTEM观察 ,我们发现氧化铝薄膜中主要存在 3种类型的裂纹 :界面裂纹、孔底裂纹和孔壁裂纹。其中界面裂纹呈波浪型 ,其走向平行于硅铝界面 ;而孔底裂纹则基本垂直于硅基表面。由于铝膜中缺陷 (如晶界、位错、空位等 )的影响 ,铝膜腐蚀氧化中体积膨胀具有不均匀性 ,所以局部应力集中并释放是造成这两种裂纹的根本原因。另外 ,裂纹产生使得局域腐蚀面积增大 ,从而造成局域溶液浓度迅速下降 ,这使得局域孔的生长速率变慢。这一效应和应力的共同作用将影响孔的形状并使得有些孔停止生长。我们认为这是孔自组织排列的一个可能机制。值得注意的是孔底裂纹作为原子扩散的通道 ,使得孔底物质和下金属电极层可以穿过氧化铝绝缘层经由扩散而形成的这一金属原子富集区而导通 ,这一结构特征为利用硅基多孔氧化铝模板原位合成高有序度低维纳米量子器件提供了重要保证。 展开更多

关键词 阳极氧化硅基多孔氧化铝膜 裂纹限制效应 自组织机制

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硅基多孔氧化铝薄膜的解理断裂特性

2

作者 濮林 朱健民 +5 位作者 吴俊辉 邹建平 周舜华 鲍希茂 李齐 冯端 《电子显微学报》 CAS CSCD 2000年第4期471-472,共2页

关键词 硅基 多孔氧化铝薄膜 解理断裂特性

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铝的多孔阳极氧化自组织过程结晶度依赖特性 被引量：6

3

作者 吴俊辉 邹建平 +2 位作者 濮林 朱青 鲍希茂 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 2000年第2期202-206,共5页

电子束蒸发在硅衬底上的多晶铝膜多孔型阳极氧化得到的多孔列阵排布与体材料单晶 铝氧化结果比较，有序度存在很大差异，导致这种差异的原因，除了氧化时间、应用电压、电解液等 电化学参数外，新引入的结晶度将作为一重要因数影响自组... 电子束蒸发在硅衬底上的多晶铝膜多孔型阳极氧化得到的多孔列阵排布与体材料单晶 铝氧化结果比较，有序度存在很大差异，导致这种差异的原因，除了氧化时间、应用电压、电解液等 电化学参数外，新引入的结晶度将作为一重要因数影响自组织过程．结晶度的影响主要反映在晶粒 间界区域相比于晶粒内部存在的铝原子浓度和阳极氧化反应速度涨落，这种涨落将通过干扰孔底 电场的分布，对自组织过程产生微扰，由于微扰具有实时和随机性质，将使铝膜阳极氧化不再象体 材铝那样，可以通过单一延长时间来最终改善孔排布的有序度． 展开更多

关键词 铝 多孔阳极氧化 自组织过程 结晶度

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硅基底电子束蒸发铝膜阳极氧化特性 被引量：4

4

作者 邹建平 吴俊辉 +3 位作者 朱青 濮林 朱健民 鲍希茂 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第3期255-259,共5页

研究了硅衬底上电子束蒸发铝膜 ,在 H2 SO4 水溶液中阳极氧化形成硅衬底多孔氧化铝复合结构的过程 .硅衬底电子束蒸发铝膜的阳极氧化过程主要由多孔氧化铝的生长、氧化铝生长向氧化硅生长的过渡和氧化硅生长三个阶段构成 .硅衬底多孔氧... 研究了硅衬底上电子束蒸发铝膜 ,在 H2 SO4 水溶液中阳极氧化形成硅衬底多孔氧化铝复合结构的过程 .硅衬底电子束蒸发铝膜的阳极氧化过程主要由多孔氧化铝的生长、氧化铝生长向氧化硅生长的过渡和氧化硅生长三个阶段构成 .硅衬底多孔氧化铝复合结构的透射电子显微镜观察表明 ,在硅衬底上形成了垂直于硅表面的氧化铝纳米孔 ,而孔底可形成 Si O2 层 .有序结构多孔氧化铝的形成不依赖于铝膜的结晶状态 ,而是由阳极氧化过程的自组织作用所决定的 .实验表明将多孔氧化铝制备工艺移植到硅基衬底上直接形成硅基衬底多孔氧化铝复合结构是可行的 。 展开更多

关键词 多孔氧化铝 阳极氧化 电子束蒸发 铝膜 硅基底

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InN薄膜的退火特性 被引量：3

5

作者 谢自力 张荣 +11 位作者 修向前 毕朝霞 刘斌 濮林 陈敦军 韩平 顾书林 江若琏 朱顺明 赵红 施毅 郑有炓 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期340-344,共5页

对InN薄膜在氨气氛下的高温退火行为进行了研究.利用XRD,SEM和XPS对样品进行了分析.结果表明,InN薄膜的结晶质量和表面形貌并不随退火温度单调变化.由于高温退火时N原子的挥发,剩下的In原子在样品表面聚集形成In颗粒.当退火温度高于425... 对InN薄膜在氨气氛下的高温退火行为进行了研究.利用XRD,SEM和XPS对样品进行了分析.结果表明,InN薄膜的结晶质量和表面形貌并不随退火温度单调变化.由于高温退火时N原子的挥发,剩下的In原子在样品表面聚集形成In颗粒.当退火温度高于425℃时,In原子的脱吸附作用增加,从而导致样品表面的In颗粒在退火温度高于425℃时逐渐减少.XRD和SEM结果表明In颗粒密度最高的样品具有最差的结晶质量.这种现象可能是由于In颗粒隔离了其下面的InN与退火气氛的接触,同时,金属In和InN结构上的差异也可能在InN中导致了高密度的结构缺陷,从而降低了InN薄膜的结晶质量. 展开更多

关键词 INN 热退火 X射线衍射 扫描电子显微镜 X射线光电子谱

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三维连续结构Li_4Ti_5O_(12)/石墨烯纳米复合材料:制备和其锂离子电池超长循环性能(英文) 被引量：3

6

作者 林子夏 王刚 +4 位作者 郑明波 赵斌 李念武 濮林 施毅 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2013年第7期1465-1470,共6页

利用具有三维连续纳米孔结构的热剥离石墨烯为骨架制备Li4Ti5O12/石墨烯纳米复合材料。通过乙醇挥发法在热剥离石墨烯的纳米孔道内引入前驱物,进一步高温热处理,在热剥离石墨烯的孔道内原位形成Li4Ti5O12纳米粒子。利用复合材料作为锂... 利用具有三维连续纳米孔结构的热剥离石墨烯为骨架制备Li4Ti5O12/石墨烯纳米复合材料。通过乙醇挥发法在热剥离石墨烯的纳米孔道内引入前驱物,进一步高温热处理,在热剥离石墨烯的孔道内原位形成Li4Ti5O12纳米粒子。利用复合材料作为锂离子电池电极材料。电化学反应过程中,热剥离石墨烯的三维连续结构确保了Li4Ti5O12纳米粒子与石墨烯在长循环过程中的有效接触。因此,复合材料表现出优异的循环稳定性。在5C下,5 000次循环后,其容量保持率高达94%。 展开更多

关键词 LI4TI5O12 石墨烯 纳米复合材料 负极材料 锂离子电池

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p沟道锗/硅异质纳米结构MOSFET存储器及其逻辑阵列 被引量：2

7

作者 杨红官 施毅 +4 位作者 闾锦 濮林 沈波 张荣 郑有炓 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期179-184,共6页

采用巴丁 (Bardeen)传输哈密顿方法 ,数值计算了 p沟道锗 /硅异质纳米结构存储器的时间特性 .由于台阶状隧穿势垒和较高价带带边的作用 ,这种新型的存储器单元可以同时实现器件的快速编程和长久存储 ,具有优异的存储特性 .以 2× 2... 采用巴丁 (Bardeen)传输哈密顿方法 ,数值计算了 p沟道锗 /硅异质纳米结构存储器的时间特性 .由于台阶状隧穿势垒和较高价带带边的作用 ,这种新型的存储器单元可以同时实现器件的快速编程和长久存储 ,具有优异的存储特性 .以 2× 2逻辑阵列为例说明了这类存储器单元组成逻辑电路的设计原理 .研究结果表明 :这种器件可以作为在室温下工作的性能优异的非易失性存储器单元 ,有望在将来的超大规模集成电路中获得应用 . 展开更多

关键词 锗/硅 异质纳米结构 存储器 空穴隧穿 数值模拟

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汽车覆盖件逆向工程中的若干关键技术探讨 被引量：15

8

作者 闫华 林巨广 +1 位作者 蔡树煌 濮林 《模具技术》 2001年第2期4-7,共4页

介绍了汽车覆盖件逆向工程中的若干关键技术 ,诸如 ,三座标测量技术、曲面拟合技术、曲面重构技术、曲面光顺。

关键词 覆盖件 逆向工程 拟合 重构 光顺 汽车 车身 CAD CAM

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低温冷风技术在铲齿磨削中的应用 被引量：2

9

作者 劳奇成 濮林 +1 位作者 杨晓博 雷秉山 《工具技术》 2014年第3期37-39,共3页

传统铲齿磨削通常是干式磨削,其在铲磨过程中经常由于磨削区温度过高而导致刀具烧伤,使得刀具表面质量下降,进而影响刀具的使用性能。本文通过采用低温冷风技术,对成型铣刀进行了铲磨加工。试验结果表明,在铲磨过程中加入低温冷风能有... 传统铲齿磨削通常是干式磨削,其在铲磨过程中经常由于磨削区温度过高而导致刀具烧伤,使得刀具表面质量下降,进而影响刀具的使用性能。本文通过采用低温冷风技术,对成型铣刀进行了铲磨加工。试验结果表明,在铲磨过程中加入低温冷风能有效降低磨削烧伤,提升刀具的耐用度。 展开更多

关键词 铲齿磨削 低温冷风磨削 磨削烧伤 金相组织 刀具耐用度

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锗量子点超晶格的光学特性 被引量：1

10

作者 施毅 杨铮 +5 位作者 濮林 鄢波 王军转 刘建林 张荣 郑有 《南京大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期41-46,共6页

对自组装生长的Ge量子点超晶格样品进行了光荧光谱 (PL谱 )和拉曼散射谱 (Raman谱 )实验测量研究 .对Si的TO发光峰和Ge的发光峰特征进行了深入讨论 ,通过对变温PL谱的拟合及分析提出了对Ge量子点尺寸和其电子有效质量一种新的测评方法 ... 对自组装生长的Ge量子点超晶格样品进行了光荧光谱 (PL谱 )和拉曼散射谱 (Raman谱 )实验测量研究 .对Si的TO发光峰和Ge的发光峰特征进行了深入讨论 ,通过对变温PL谱的拟合及分析提出了对Ge量子点尺寸和其电子有效质量一种新的测评方法 ;首次在非共振Raman模式下观测到低频声子模 ,研究了样品的结构组份、应变及声子限制效应间的关联性 . 展开更多

关键词 PL谱 RAMAN谱 Ge量子点超晶格

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复合量子点MOSFET结构存储器的电路模拟 被引量：1

11

作者 闾锦 施毅 +3 位作者 濮林 杨红官 杨铮 郑有炓 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第11期1793-1795,共3页

本文采用准经典近似的MonteCarlo方法对复合量子点MOSFET结构存储器的等效单电子电路进行了模拟 .研究结果表明 ,由于台阶状的复合隧穿势垒的作用 ,存储器的存储时间特性可得到极大提高 .我们进一步研究了N沟道锗 /硅复合量子点MOSFET... 本文采用准经典近似的MonteCarlo方法对复合量子点MOSFET结构存储器的等效单电子电路进行了模拟 .研究结果表明 ,由于台阶状的复合隧穿势垒的作用 ,存储器的存储时间特性可得到极大提高 .我们进一步研究了N沟道锗 /硅复合量子点MOSFET结构存储器的时间特性 ,得到其存储时间可长达数年 ,同时写擦时间可分别为 μs和ns量级 。 展开更多

关键词 复合量子点 单电子存储器 电路模拟

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在MOCVD系统中用预淀积In纳米点低温下合成生长InN 被引量：1

12

作者 谢自力 张荣 +11 位作者 修向前 毕朝霞 刘斌 濮林 陈敦军 韩平 顾书林 江若琏 朱顺明 赵红 施毅 郑有炓 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期1050-1055,共6页

利用低压金属有机化学气相淀积(LP-MOCVD)系统,在(0001)蓝宝石衬底上采用预淀积In纳米点技术低温合成制备了立方相的InN薄膜。首先以TM In作源在蓝宝石衬底表面预淀积了一层金属In纳米点,然后在一定条件下合成生长InN薄膜。X射线衍射谱(... 利用低压金属有机化学气相淀积(LP-MOCVD)系统,在(0001)蓝宝石衬底上采用预淀积In纳米点技术低温合成制备了立方相的InN薄膜。首先以TM In作源在蓝宝石衬底表面预淀积了一层金属In纳米点,然后在一定条件下合成生长InN薄膜。X射线衍射谱(XRD)和X射线光电子发射谱(XPS)显示适当的预淀积In不仅能够促进InN的生长,同时还能够抑制金属In在InN薄膜中的聚集。原子力显微镜(AFM)观察表明,金属In纳米点不仅增强了成核密度,而且促进了InN岛的兼并。自由能计算表明预淀积的In优先和NH3分解得到的NH与N基反应生成InN。我们认为这种优先生成的InN为接下来InN的生长提供了成核位,从而促进了InN的生长。 展开更多

关键词 INN 预淀积In纳米点 MOCVD

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低温冷风对铲齿磨削表面残余应力的影响 被引量：1

13

作者 王建华 雷秉山 濮林 《河南理工大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2014年第3期323-326,338,共5页

传统铲齿磨削通常为干式磨削,在其铲磨过程中由于磨削深度的加大,导致刀具表面产生微裂纹,影响刀具的使用性能.通过在铲齿磨削加工中应用低温冷风技术,对成型铣刀进行了铲磨加工,观察研究了其磨削烧伤和表面残余应力的情况.利用X射线衍... 传统铲齿磨削通常为干式磨削,在其铲磨过程中由于磨削深度的加大,导致刀具表面产生微裂纹,影响刀具的使用性能.通过在铲齿磨削加工中应用低温冷风技术,对成型铣刀进行了铲磨加工,观察研究了其磨削烧伤和表面残余应力的情况.利用X射线衍射法对其磨削表面的残余应力进行了检测,试验结果发现,在铲磨过程中加入低温冷风能有效地减轻刀具表面烧伤,减小刀具的热塑性变形,改善刀具表层的残余应力,提高刀具表面质量. 展开更多

关键词 铲齿磨削 低温冷风磨削 磨削烧伤 残余应力

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绿色经济发展背景下江苏省城乡居民垃圾分类行为意识实证研究——以无锡市环太湖区域为例

14

作者 濮林 李可欣 陆兴凤 《中国市场》 2025年第7期13-16,共4页

党的二十大报告提出了推动绿色发展,促进人与自然和谐共生,必须牢固树立和践行“绿水青山就是金山银山”的理念。绿色发展的目的就是通过发展绿色低碳产业、倡导绿色消费等具体措施来推动各区域发展绿色转型,同时带动乡村振兴,实现共同... 党的二十大报告提出了推动绿色发展,促进人与自然和谐共生,必须牢固树立和践行“绿水青山就是金山银山”的理念。绿色发展的目的就是通过发展绿色低碳产业、倡导绿色消费等具体措施来推动各区域发展绿色转型,同时带动乡村振兴,实现共同富裕。文章以江苏省无锡市环太湖区域为例,通过调研该区域绿色经济发展过程中居民绿色低碳的生活方式,直观了解区域城乡垃圾分类的现状,分析其垃圾分类可能存在的问题及影响居民行为意识的影响因素,构建模型假设,提出参考性对策,助力区域绿色经济新发展。 展开更多

关键词 绿色经济发展 垃圾分类 环太湖区域

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基于锗硅异质纳米晶的非易失浮栅存储器的存储特性

15

作者 闾锦 陈裕斌 +3 位作者 左正 施毅 濮林 郑有炓 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期770-773,共4页

利用自组织生长和选择化学刻蚀方法在超薄SiO2隧穿氧化层上制备了渐变锗硅异质纳米晶,并通过电容-电压特性和电容-时间特性研究了该纳米结构浮栅存储器的存储特性.测试结果表明,该异质纳米晶非易失浮栅存储器具有良好的空穴存储特性,这... 利用自组织生长和选择化学刻蚀方法在超薄SiO2隧穿氧化层上制备了渐变锗硅异质纳米晶,并通过电容-电压特性和电容-时间特性研究了该纳米结构浮栅存储器的存储特性.测试结果表明,该异质纳米晶非易失浮栅存储器具有良好的空穴存储特性,这是由于渐变锗硅异质纳米晶中Ge的价带高于Si的价带形成了复合势垒,空穴有效地存储在复合势垒的Ge的一侧. 展开更多

关键词 异质纳米晶 非易失浮栅存储器 电容-电压特性 自组织生长 选择化学刻蚀

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SiNx薄膜的制备、结构及其光学性能表征

16

作者 辛煜 鲁涛 +4 位作者 黄壮雄 濮林 施毅 宁兆元 郑有炓 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期36-38,42,共4页

本文使用电子回旋共振等离子体化学气相沉积方法制备了非化学计量比的SiNx薄膜,使用红外光谱、拉曼光谱和紫外可见光谱等对SiNx薄膜的结构和光学性质进行了研究.结果表明,SiNx薄膜中随着Si:N原子比的增加,Si-N的红外伸缩振动从890cm-1... 本文使用电子回旋共振等离子体化学气相沉积方法制备了非化学计量比的SiNx薄膜,使用红外光谱、拉曼光谱和紫外可见光谱等对SiNx薄膜的结构和光学性质进行了研究.结果表明,SiNx薄膜中随着Si:N原子比的增加,Si-N的红外伸缩振动从890cm-1波数向820 cm-1波数移动,拉曼光谱中出现了较明显的波数为480 cm-1的非晶硅的TO声子峰;实验发现,使用NH3作为前驱体所制备的膜中较N2具有更低的H含量;SiNx薄膜的光学带隙和折射率可以通过前驱体的流量比进行调制,实验结果表明光学带隙随着Si:N比率的增加而明显降低,从5.0 eV变化到2.5eV,而折射率则从1.9变化到2.2左右. 展开更多

关键词 电子回旋共振等离子体 a-薄膜 红外光谱 光学性能

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非挥发浮栅存储器用PtAu纳米颗粒单层膜的制备

17

作者 闾锦 陈裕斌 +3 位作者 潘力佳 濮林 施毅 郑有炓 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2008年第2期81-84,共4页

将Langmuir-Blodgett(LB)膜等化学方法应用于非挥发浮栅存储器制备工艺中.采用反相微乳液方法合成的分散良好的PtAu纳米颗粒粒径约为5 nm,并应用LB膜方法在存储器隧穿氧化层上制备了PtAu纳米颗粒的单层膜.采用SEM对LB膜的表面形貌进行观... 将Langmuir-Blodgett(LB)膜等化学方法应用于非挥发浮栅存储器制备工艺中.采用反相微乳液方法合成的分散良好的PtAu纳米颗粒粒径约为5 nm,并应用LB膜方法在存储器隧穿氧化层上制备了PtAu纳米颗粒的单层膜.采用SEM对LB膜的表面形貌进行观测,研究了表面压对成膜质量的影响,结果表明在表面压为15 mN/m时可获得密度为1011cm-2均匀分布的PtAu纳米颗粒单层二维阵列,可应用于非挥发性金属纳米颗粒浮栅存储器,并成功拓展了LB膜等化学方法的应用范围. 展开更多

关键词 非挥发浮栅存储器 PtAu纳米颗粒 反相微乳液 LB膜

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复合氧化物纳米粒子三维自组装的HREM研究

18

作者 朱健民 马国斌 +4 位作者 陈志强 濮林 朱信华 周舜华 李齐 《电子显微学报》 CAS CSCD 2000年第4期423-424,共2页

关键词 复合氧化物 纳米粒子 三维自组装 HREM

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绿色经济发展背景下革命老区垃圾分类现状、问题及对策研究——以江西省瑞金市为例

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作者 濮林 邹祥 吴天绚 《中国市场》 2025年第1期21-24,共4页

党的二十大报告提出了推动绿色发展,促进人与自然和谐共生,必须牢固树立和践行绿水青山就是金山银山的理念。绿色发展的目的就是通过绿水青山来创新经济发展新热点,带动乡村振兴,实现人民群众共同富裕。文章以红色革命老区江西省瑞金市... 党的二十大报告提出了推动绿色发展,促进人与自然和谐共生,必须牢固树立和践行绿水青山就是金山银山的理念。绿色发展的目的就是通过绿水青山来创新经济发展新热点,带动乡村振兴,实现人民群众共同富裕。文章以红色革命老区江西省瑞金市为例,通过调研其绿色经济发展过程中群众绿色低碳生活的践行方式,直观了解其农村和乡镇地区垃圾分类的现状,分析其垃圾分类可能存在的问题,并提出参考性对策,助力革命老区绿色经济新发展。 展开更多

关键词 绿色经济发展 垃圾分类 革命老区

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