摘要
提出了一种基于激光刻蚀路径的修调电阻精度控制方法。该方法通过动态确定L型调阻图形的横、纵向切割长度实现对调阻精度的控制。在保证阻值测量精度的条件下,应用该法在0.1Ω～100MΩ的薄膜电阻阻值进行修调,调阻精度可达到1%。
A precision control method based on laser trimming path was introduced.It realizes trimming precision control though controlling the transverse & lengthways length of L-cut.If the precision of measure system is sufficient,its application on the thin film resistor laser trimming (0.1 Ω～100 MΩ) shows that the precision of laser trim could be reached 1 %.
出处
《光电子．激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第1期86-88,共3页
Journal of Optoelectronics·Laser
基金
国家高技术产业化光电子专项资助项目(2002055)
长春市科技攻关计划资助项目(02 130G22)
中国科学院研究生科学与社会实践资助专项创新类项目资助
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所第三期青年创新基金资助
