微电子技术与片上系统(SOC)简介
摘要
介绍了微电子技术的应用及发展动向,片上系统(SOC)技术的发展动向及面临的挑战。
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1王栋良,张建春,丁小军,王松原.浅析T/R组件工艺集成技术对修理技术的影响[J].航空维修与工程,2016,0(4):51-54. 被引量:4
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2张琴,洪培真,崔虎山,卢一泓,贾宬,钟汇才.一种新型的自对准源漏接触技术[J].微纳电子技术,2014,51(5):328-332.
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3李红征.SiGe BiCMOS工艺集成技术研究[J].电子与封装,2015,15(12):34-37. 被引量:1
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4吴汉明,吴关平,吴金刚,黄河,俞少峰,李序武,卜伟海.纳米集成电路大生产中新工艺技术现状及发展趋势[J].中国科学:信息科学,2012,42(12):1509-1528. 被引量:17
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5李俊锋,马小龙,王防防,许淼.用于后栅工艺的SOI-FinFET选择性沟道缩小技术[J].微纳电子技术,2015,52(7):460-473.