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扫描电子显微镜的安装与验收

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摘要 本文就如何安装调试与验收扫描电子显微镜作了简单介绍,并以日立S-570型号例,对验收技术指标、方法及误差计算进行了具体说明。
作者 张益谨 杨迈莉
机构地区 中南工业大学
出处 《湖南冶金》 1989年第1期16-20,共5页 Hunan Metallurgy
关键词 电子显微镜 安装 验收
分类号 TN153 [电子电信—物理电子学]
湖南冶金
1989年 第1期

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