SO_2气体传感器的新进展被引量：8

Development of SO_2 gas sensor

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摘要主要介绍了国内外当前SO2 气体传感器的研究现状及其发展趋势 ,并着重介绍了声表面波 (SAW )SO2 The present status and future trend of SO 2 gas sensor and the application prospects for SAW SO 2 gas sensors are introduced.

作者魏培永韩建强

机构地区西安交通大学微电子工程系航天十一研究所

出处《传感器技术》 CSCD 北大核心 2001年第3期1-3,共3页 Journal of Transducer Technology

关键词气体传感器声表面波二氧化硫 SO 2 gas sensor surface acoustic wave (SAW)

分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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