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Pd/Sb(Mn)薄膜的光学性质研究

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摘要 本文系统地研究了用固相反应再生长法在P型GaAs衬底上制备的Pd/Sb(Mn)薄膜的光学性质.通过对不同薄膜厚度、材料组分、退火温度和时间下的反射与透射率谱的研究表明,在近红外区存在一个较强的反射峰;当薄膜厚度为50nm左右,退火温度在300℃到350℃,钯与锑原子比为1∶1时,可以得到较大的反射和一定的透射,有可能用作垂直腔面发射半导体激光器的P型边谐振腔镜兼注入电极.
机构地区 北京大学物理系
出处 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第6期452-457,共6页 半导体学报(英文版)
基金 国家自然科学基金
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参考文献8

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