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Pd/Sb(Mn)薄膜的光学性质研究
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摘要
本文系统地研究了用固相反应再生长法在P型GaAs衬底上制备的Pd/Sb(Mn)薄膜的光学性质.通过对不同薄膜厚度、材料组分、退火温度和时间下的反射与透射率谱的研究表明,在近红外区存在一个较强的反射峰;当薄膜厚度为50nm左右,退火温度在300℃到350℃,钯与锑原子比为1∶1时,可以得到较大的反射和一定的透射,有可能用作垂直腔面发射半导体激光器的P型边谐振腔镜兼注入电极.
作者
程磊
赵一广
吴克
焦鹏飞
陈娓兮
机构地区
北京大学物理系
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第6期452-457,共6页
半导体学报(英文版)
基金
国家自然科学基金
关键词
制备
砷化镓
钯/锑(锰)薄膜
光学性质
分类号
O484.41 [理学—固体物理]
TN304.23 [电子电信—物理电子学]
引文网络
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参考文献
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0
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Journal of Semiconductors
1999年 第6期
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