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碲和镉材料的SIMS相对灵敏度因子及其规律性

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摘要利用已知浓度的均匀体掺杂半导体碲与金属镉材料作为ＳＩＭＳ分析的标准样品，测量得到了正电性杂质元素的相对灵敏度因子ＲＳＦ，发现了杂质元素相对灵敏度因子的对数与相应元素第一电离子ＩＰ之间成很好的线性关系。碲和镉样品的ｌｏｇＱＲＳＦｉ＾－ＷＩＰ关系的最小二乘拟合直线的斜率分别为０．９８ｄｅｃ．ｅＶ和０．６６ｄｅｃ．ｅＶ。

作者张景文杨得全

机构地区中国空间技术研究院兰州物理研究所真空低温技术实验室

出处《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1998年第A12期177-180,共4页 Vacuum Science and Technology

关键词相对灵敏度因子碲镉半导体材料 SIMS

分类号 TN304.7 [电子电信—物理电子学] O657.99 [理学—分析化学]

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真空科学与技术

1998年第A12期

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