摘要
美国科学家最近开发出一种方法，能在金属薄膜表面制作非常平坦的图案，使表面等离子（surface plasmons）在薄膜上的传播距离得以加倍。这种名为“模版剥离”（template stripping）的新方法能简化金属薄膜的制程，而且只需要便宜的硅晶圆与黏着剂，因此有助于制造新型太阳能电池与其它等离子光学（plasmonic）组件。这项由明尼苏达大学的David Norris等人所发展的技术，是先将铜、金或银等金属沉积在事先图案化的硅晶圆模版上，接着加入黏着剂到沉积的金属薄膜中，最后将金属与黏着剂一起剥离硅晶圆，以产生具有图案且极为平坦的金属表面。Norris表示，模版剥离方法常见于扫描式穿隧显微术及自组装单膜层领域，但等离子光学研究社群中常用刻蚀而非剥离法来移除硅模版。
出处
《现代材料动态》
2009年第11期20-20,共1页
Information of Advanced Materials
